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龍圖騰網(wǎng)獲悉株式會社斯庫林集團(tuán)申請的專利熱處理裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115004339B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202180011495.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/31；該發(fā)明授權(quán)熱處理裝置是由瀨川聰設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-02-02向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本熱處理裝置在說明書摘要公布了：對半導(dǎo)體晶片照射光來進(jìn)行加熱處理的腔室和可燃性氣體供給源通過可燃性氣體供給管連通連接。在可燃性氣體供給管安裝有調(diào)整可燃性氣體的供給流量的電氣式流量控制器等。可燃性氣體供給管中的包含可能成為著火源的電氣式流量控制器等的部分被內(nèi)側(cè)框體包圍。向內(nèi)側(cè)框體的內(nèi)部的內(nèi)側(cè)空間供給作為不燃性氣體的氮?dú)狻Ｍㄟ^向內(nèi)側(cè)空間供給不燃性氣體，并且排出滯留在內(nèi)側(cè)空間中的氣體，內(nèi)側(cè)空間中的氧濃度降低到小于爆炸極限，從而能夠防止可燃性氣體的火災(zāi)和爆炸。

本發(fā)明授權(quán)熱處理裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種熱處理裝置，通過對基板照射光來加熱該基板，其中， 具有： 腔室，容納基板； 燈，向容納在所述腔室內(nèi)的所述基板照射光； 第一氣體供給管，從第一氣體供給源向所述腔室供給可燃性氣體； 電氣式的流量調(diào)整部，安裝于所述第一氣體供給管，調(diào)整所述可燃性氣體的供給流量； 第一框體，包圍所述第一氣體供給管中的至少包含所述流量調(diào)整部的部分； 第二框體，進(jìn)一步包圍所述第一框體的周圍； 第二氣體供給管，從第二氣體供給源向所述第一框體的內(nèi)部的第一空間供給不燃性氣體；以及 氣體排出口，設(shè)置在所述第一框體上，將滯留在所述第一空間中的氣體向形成在所述第一框體與所述第二框體之間的第二空間排放。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人株式會社斯庫林集團(tuán)，其通訊地址為：日本京都府；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。