杭州士蘭集成電路有限公司;杭州士蘭集昕微電子有限公司季鋒獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉杭州士蘭集成電路有限公司;杭州士蘭集昕微電子有限公司申請的專利微機電傳感器及其制造方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112327002B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011044408.0，技術領域涉及：G01P15/125；該發明授權微機電傳感器及其制造方法是由季鋒;聞永祥;劉琛;賀錦設計研發完成，并于2020-09-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本微機電傳感器及其制造方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種微機電傳感器及其制造方法，微機電傳感器包括：埋層，包括多個第一增高區域；位于埋層上的多個檢測電極和多個布線電極，多個檢測電極分別覆蓋多個第一增高區域；位于多個檢測電極和多個布線電極上方的扭擺臂，扭擺臂、多個檢測電極和多個布線電極互不接觸；位于扭擺臂上方的扭擺和多個可動扭擺塊，多個可動扭擺塊通過扭擺臂與扭擺連接，多個可動扭擺塊和扭擺臂形成可動結構；位于扭擺臂上方的多個固定電極；位于埋層上支撐壁，位于支撐壁上的保護壁，支撐壁和保護壁圍成空腔，可動結構、扭擺、多個檢測電極、多個布線電極和多個固定電極位于空腔中。本發明實施例提高了微機電傳感器的靈敏度，改善了可動結構在沖擊下斷裂的問題。
本發明授權微機電傳感器及其制造方法在權利要求書中公布了：1.一種微機電傳感器，其中，包括： 襯底； 埋層，位于所述襯底上，所述埋層包括多個第一增高區域，所述埋層上設置有多個檢測電極和多個布線電極，所述多個檢測電極分別覆蓋所述多個第一增高區域； 扭擺臂，所述扭擺臂位于所述多個檢測電極和所述多個布線電極上方，所述扭擺臂與所述多個檢測電極和多個布線電極互不接觸； 扭擺和多個可動扭擺塊，所述扭擺和所述多個可動扭擺塊位于所述扭擺臂上方，所述多個可動扭擺塊通過所述扭擺臂與所述扭擺連接，所述多個可動扭擺塊和所述扭擺臂形成可動結構； 多個固定電極，所述多個固定電極位于所述扭擺臂上方； 支撐壁和保護壁，所述支撐壁位于所述埋層上，所述保護壁位于所述支撐壁上，所述支撐壁和所述保護壁圍成空腔，所述可動結構、所述扭擺、所述多個檢測電極、所述多個布線電極和所述多個固定電極位于所述空腔中。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人杭州士蘭集成電路有限公司;杭州士蘭集昕微電子有限公司，其通訊地址為：310018 浙江省杭州市杭州經濟技術開發區10號大街（東）308號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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