信越聚合物株式會社小川統獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉信越聚合物株式會社申請的專利基板收納容器獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114270492B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202080058736.8,技術領域涉及:H01L21/677;該發明授權基板收納容器是由小川統設計研發完成,并于2020-08-07向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板收納容器在說明書摘要公布了:本發明提供一種清洗液不易殘留于供氣機構的基板收納容器。基板收納容器于前表面側具有開口,于底面包括供氣機構,其中,所述供氣機構包括:導入通路,從底面側接收氣體;以及止回閥,配置于在沿著底面的水平面內的與導入通路不重合的位置,以及流路,從導入通路朝向止回閥供給氣體。
本發明授權基板收納容器在權利要求書中公布了:1.一種基板收納容器,于前表面側具有開口,于底面包括供氣機構,且所述基板收納容器的特征在于, 所述供氣機構包括: 導入通路,從所述底面側接收氣體;以及 止回閥,配置于在沿著所述底面的水平面內的與所述導入通路不重合的位置,以及 流路,從所述導入通路朝向所述止回閥供給所述氣體, 在所述底面朝向下方的縱向剖面中, 所述流路具有前側低且后側高的上側傾斜壁面以及前側低且后側高的下側傾斜壁面, 所述導入通路具有向下內壁面,所述向下內壁面連接于所述上側傾斜壁面及所述下側傾斜壁面且向下延伸, 所述導入通路配置于較所述止回閥更靠所述前表面側, 當所述前表面側朝向下方時,所述流路內的清洗液因重力而沿所述上側傾斜壁面朝向所述導入通路流動, 當所述底面朝向下方時,所述流路內的清洗液因重力而沿所述下側傾斜壁面朝向所述導入通路流動, 當所述底面朝向下方時,所述導入通路中的清洗液因重力而沿所述向下內壁面朝向所述導入通路的外部流動。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人信越聚合物株式會社,其通訊地址為:日本東京千代田區神田須田町一丁目9番(郵遞區號:101-0041);或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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