德國艾托特克公司R·普雷切爾獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉德國艾托特克公司申請的專利將物品移動到處理站的裝置和方法、輸送系統和處理設備獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114144870B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202080052801.6,技術領域涉及:H01L21/67;該發明授權將物品移動到處理站的裝置和方法、輸送系統和處理設備是由R·普雷切爾設計研發完成,并于2020-06-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本將物品移動到處理站的裝置和方法、輸送系統和處理設備在說明書摘要公布了:一種裝置,其用于將包括至少襯底2的物品移動通過處理設備的處理站1a,b的開口側,所述裝置包括可放置在所述處理站1a,b處的至少一個支撐件26;26'。所述裝置包括至少一個載架27a,b;27'a,b,其各自導引以沿主要平行于參考坐標系中的參考軸線z定向的相應路徑相對于所述一或多個支撐件26;26'移動。所述裝置包括至少一個裝置29a,b,30a,b,31a,b;37a,b,其用于控制所述載架27a,b;27'a,b中的至少一個的移動且驅動沿所述路徑在相反方向中的至少一個上的移動。所述裝置包括用于固持所述物品的組件21;21'和懸掛機構,所述固持組件21;21'通過所述懸掛機構連接到所述至少一個載架27a,b;27'a,b。所述懸掛機構布置成導引所述固持組件21;21'沿固持組件21;21'路徑相對于所述至少一個載架27a,b;27'a,b的移動。所述裝置29a,b,30a,b,31a,b;37a,b布置成驅動所述固持組件21;21'沿所述固持組件路徑在至少一個方向上的移動。所述固持組件路徑主要平行于所述參考軸線z定向。
本發明授權將物品移動到處理站的裝置和方法、輸送系統和處理設備在權利要求書中公布了:1.一種用于將包括至少襯底2的物品移動通過處理設備的處理站1a,b的開口側的裝置,所述裝置包括: 至少一個支撐件26;26',其可放置在所述處理站1a,b處, 至少一個載架27a,b;27'a,b,其各從導引以沿平行于參考坐標系中的參考軸線z定向的相應路徑相對于所述一或多個支撐件26;26'移動; 至少一個控制裝置29a,b,30a,b,31a,b;37a,b,其用于控制所述載架27a,b;27'a,b中的至少一個的移動且驅動沿所述路徑在相反方向中的至少一個上的移動; 固持組件21;21',其用于固持所述物品;以及 懸掛機構,所述固持組件21;21'通過所述懸掛機構連接到所述至少一個載架27a,b;27'a,b, 其中所述懸掛機構布置成導引所述固持組件21;21'沿固持組件21;21'路徑相對于所述至少一個載架27a,b;27'a,b的移動,且 其中所述控制裝置29a,b,30a,b,31a,b;37a,b布置成驅動所述固持組件21;21'沿所述固持組件路徑在至少一個方向上的移動,其特征在于 所述固持組件路徑平行于所述參考軸線z定向。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人德國艾托特克公司,其通訊地址為:德國柏林;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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