株式會社拓普康;國立研究開發法人理化學研究所椴山譽獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社拓普康;國立研究開發法人理化學研究所申請的專利光干涉測定裝置及光干涉測定方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113892024B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080036899.6，技術領域涉及：G01N21/45；該發明授權光干涉測定裝置及光干涉測定方法是由椴山譽;佐佐木芳彰;吉峯功;大谷知行;湯淺哲也設計研發完成，并于2020-05-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本光干涉測定裝置及光干涉測定方法在說明書摘要公布了：提供一種光干涉測定技術，不使用寬頻帶的光源，改善了深度方向的強度特性曲線的分辨率。光干涉測定裝置1具有：測定部2，使所照射的電磁波的、來自測定對象物的反射面的反射波和來自參照面的反射波干涉，獲取干涉波的干涉圖；以及信號處理部8，通過對干涉圖進行傅里葉變換，構成深度方向的強度特性曲線，信號處理部8具有：模型參數推定部201，基于假設測定對象物是具有規定的構造的構造物的情況下的干涉圖的模型式，對假定面數推定模型式的參數；最佳模型選擇部202，根據應用了對假定面數推定出的參數的模型式，通過統計學方法選擇最佳模型；以及強度特性曲線重建部203，基于最佳模型重建強度特性曲線。
本發明授權光干涉測定裝置及光干涉測定方法在權利要求書中公布了：1.一種光干涉測定裝置，其特征在于，具有： 測定部，向測定對象物及參照面照射電磁波，使來自所述測定對象物的反射面的反射波和來自所述參照面的反射波干涉，獲取干涉波的干涉圖；以及 信號處理部，通過對所述干涉圖進行傅里葉變換，構成深度方向的強度特性曲線， 所述信號處理部具有： 模型參數推定部，基于假設測定對象物是至少具有一個反射面的層狀構造物的情況下的干涉圖的模型式，對規定的假定面數的范圍中的各假定面數推定所述模型式的參數； 最佳模型選擇部，根據應用了對所述各假定面數推定出的參數的所述模型式，通過統計學方法選擇最佳的模型式；以及 強度特性曲線重建部，基于所述最佳的模型式重建深度方向的強度特性曲線； 所述最佳模型選擇部使用應用了對所述各假定面數推定出的參數的所述模型式重建干涉圖，計算所重建的干涉圖與原本的干涉圖的似然度，基于以所述假定面數作為自由度而獲得的信息量準則選擇所述最佳的模型式。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社拓普康;國立研究開發法人理化學研究所，其通訊地址為：日本東京；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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