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龍圖騰網獲悉深圳市石金科技股份有限公司申請的專利一種雙排橫插布局結構石墨舟獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120261361B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510743606.2，技術領域涉及：H01L21/673；該發明授權一種雙排橫插布局結構石墨舟是由隗柯;尼廣超;肖杰;張泉;黃旭設計研發完成，并于2025-06-05向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種雙排橫插布局結構石墨舟在說明書摘要公布了：本發明公開了一種雙排橫插布局結構石墨舟，涉及半導體設備技術領域，所述石墨舟片包括雙排內片、雙排外片以及擴容部，雙排橫插布局結構石墨舟還包括用于提升石墨舟裝載硅片后的穩定性的穩固部，以及用于調節雙排外片和雙排內片間所裝載的硅片位置的調節部。通過設置有定位部，在人工的安裝情形下，仍然能夠保持各個石墨舟片間的間距仍然保持一致，進而避免了人為安裝因素導致的石墨舟片間的間距不一致，通過保障石墨舟片間的間距一致，從而保障了硅片在后續高溫加工的過程中能夠受熱均勻，一定程度上提高了硅片加工的合格率。

本發明授權一種雙排橫插布局結構石墨舟在權利要求書中公布了：1.一種雙排橫插布局結構石墨舟，其特征在于，包括石墨舟片，所述石墨舟片包括： 雙排內片（1），具有多個，且多個雙排內片（1）間的間距一致； 雙排外片（2），具有兩個，且兩個雙排外片（2）分別分布在外側的雙排內片（1）一側，且雙排外片（2）與外側的雙排內片（1）的間距與雙排內片（1）間的間距一致； 擴容部，具有兩組，且兩組擴容部分別分布在兩個雙排外片（2）的一側，所述擴容部用于增加石墨舟對硅片的承載量； 雙排橫插布局結構石墨舟還包括： 穩固部，具有多組，且多組穩固部設置于所述石墨舟片上，所述穩固部用于提升石墨舟裝載硅片后的穩定性； 調節部，具有兩組，所述調節部用于調節雙排外片（2）和雙排內片（1）間所裝載的硅片位置； 所述雙排內片（1）、雙排外片（2）、單排內片（3）以及單排外片（4）上均貫穿開設有多個規律分布的卡點孔（8），雙排內片（1）和雙排外片（2）內還開設有定位槽（9），所述定位槽（9）內設置有便于石墨舟片安裝定位的定位部； 所述穩固部包括： 陶瓷套（10），具有多個，且多個陶瓷套（10）分別設置于所述雙排內片（1）間、雙排外片（2）與雙排內片（1）間； 陶瓷桿（11），具有多個，所述陶瓷桿（11）等距穿設于石墨舟片以及陶瓷套（10）上，所述陶瓷桿（11）上開設有多個等距分布的球槽（12）； 所述定位部包括： 定位彈簧（15），設置于所述定位槽（9）內，所述定位彈簧（15）始終處于壓縮狀態； 定位球（16），滑動設置于所述定位槽（9）內，且定位球（16）與所述球槽（12）卡合。

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