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龍圖騰網獲悉華海清科(北京)科技有限公司申請的專利磨輪自銳性增強方法、裝置及晶圓減薄設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120206405B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510679798.5，技術領域涉及：B24B53/007；該發明授權磨輪自銳性增強方法、裝置及晶圓減薄設備是由沈午祺;李森;劉遠航設計研發完成，并于2025-05-26向國家知識產權局提交的專利申請。

本磨輪自銳性增強方法、裝置及晶圓減薄設備在說明書摘要公布了：本申請涉及半導體晶圓加工技術領域，提供一種磨輪自銳性增強方法、裝置及晶圓減薄設備。該方法包括：確定主要沖洗位置：基于磨輪研磨晶圓的研磨線的位置及晶圓的旋轉方向判斷磨輪是否為外刃加工，如是則主要沖洗位置為磨輪外側，如否則主要沖洗位置為磨輪內側；將主要沖洗位置處的沖洗器的噴液壓力和擺動頻率設置成分別大于相對側的沖洗器的噴液壓力和擺動頻率；基于形成磨輪的磨粒的粘附狀態及磨輪上污染物的粘附狀態確定沖洗器的沖洗方向；基于研磨過程中磨輪的進給速度與設定進給速度的比值，調節沖洗器的噴液壓力和擺動頻率。本申請能夠有效增強磨輪的自銳性，同時為磨牙提供保護，提高晶圓減薄質量和效率。

本發明授權磨輪自銳性增強方法、裝置及晶圓減薄設備在權利要求書中公布了：1.一種磨輪自銳性增強方法，所述磨輪用于在晶圓減薄設備中研磨晶圓，其特征在于，磨輪研磨晶圓的研磨線從晶圓中心延伸至晶圓邊緣，所述磨輪的內側、外側和底部分別設有向所述磨輪噴射清洗液的沖洗器，所述方法包括： 確定主要沖洗位置：基于研磨線的位置及晶圓的旋轉方向判斷磨輪是否為外刃加工，如是則主要沖洗位置為磨輪外側，如否則主要沖洗位置為磨輪內側；其中，晶圓位于磨輪之外的部分的旋轉方向朝向研磨線時確定為外刃加工，晶圓位于磨輪之外的部分的旋轉方向背離研磨線時確定為內刃加工； 將所述主要沖洗位置處的沖洗器的噴液壓力和擺動頻率設置成分別大于相對側的沖洗器的噴液壓力和擺動頻率； 基于形成所述磨輪的磨粒的粘附狀態及所述磨輪上污染物的粘附狀態確定沖洗器的沖洗方向，包括：將所述沖洗器的初始方向設置為其沿磨輪切向的分量與磨輪的切向速度同向，將噴液壓力由初始值逐漸增大至最高值，若磨輪的進給速度由低于設定進給速度逐漸增大至與設定進給速度一致且磨輪的磨耗量超過磨耗量范圍，則確定磨粒的粘附狀態為易脫落，并保持所述沖洗方向沿磨輪切向的分量與磨輪的切向速度同向；若磨輪的進給速度始終低于設定進給速度且磨耗量處于磨耗量范圍，則確定磨粒的粘附狀態和污染物的粘附狀態均為不易脫落，并將所述沖洗方向沿磨輪切向的分量設置成與磨輪的切向速度反向； 基于研磨過程中所述磨輪的進給速度與設定進給速度的比值，調節沖洗器的噴液壓力和擺動頻率。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人華海清科(北京)科技有限公司，其通訊地址為：100000 北京市大興區經濟技術開發區地盛北街1號院40號樓11層1107室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。