江蘇神州半導體科技有限公司潘小剛獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉江蘇神州半導體科技有限公司申請的專利一種遠程等離子體源的出氣口散熱水管結構獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120166617B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510644812.8，技術領域涉及：H05H1/28；該發明授權一種遠程等離子體源的出氣口散熱水管結構是由潘小剛;束寅志;顧小軍;張杰設計研發完成，并于2025-05-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種遠程等離子體源的出氣口散熱水管結構在說明書摘要公布了：本發明公開了遠程等離子體源領域內的一種遠程等離子體源的出氣口散熱水管結構，包括多段式變徑管道，管道由至少三段不同直徑的管段依次連接組成，其中靠近出氣口的管段直徑大于遠端管段直徑，且靠近出氣口的管段水道內徑小于遠端管段水道內徑；管段長度、直徑及水道內徑基于等離子體源輸入功率、氣體流速及冷卻液溫升參數計算確定。該出氣口散熱水管結構通過變徑設計平衡散熱效率與流動阻力，確保散熱需求與流動壓降匹配，決了出氣口局部溫度過高導致的自由基復合問題，提升了解離率測量精度，且提升了散熱效率。
本發明授權一種遠程等離子體源的出氣口散熱水管結構在權利要求書中公布了：1.一種遠程等離子體源的出氣口散熱水管結構，其特征在于：包括多段式變徑管道，所述管道由至少三段不同直徑的管段依次連接組成，其中靠近出氣口的管段直徑大于遠端管段直徑，且靠近出氣口的管段水道內徑小于遠端管段水道內徑；所述管段長度、直徑及水道內徑基于等離子體源輸入功率、氣體流速及冷卻液溫升參數計算確定，其中，第i段所述管段長度、直徑及水道內徑優化方式為： ； ； ； 其中，n為總段數，li為第i段管段的水道內徑；、為第i段管段優化后的長度、直徑；Li、Di為第i段管段當前長度、直徑，?Pi為第i段管段壓降，ρ為水密度，v為冷卻水流速，f為摩擦系數。
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