深圳市原速光電科技有限公司請求不公布姓名獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳市原速光電科技有限公司申請的專利一種透光金屬材料及其制備方法與應用獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120158720B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510639495.0,技術領域涉及:C23C16/18;該發明授權一種透光金屬材料及其制備方法與應用是由請求不公布姓名設計研發完成,并于2025-05-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種透光金屬材料及其制備方法與應用在說明書摘要公布了:本發明公開了一種透光金屬材料及其制備方法與應用。本發明的透光金屬材料包括包括第一金屬和第二金屬,所述第一金屬包括Pt、Pd、Ir或Ru中的至少一種,所述第二金屬包括銀。本發明中通過原子層沉積技術于第一金屬層表面制備第二金屬層,不僅可以實現銀材料的層狀生長形成第二金屬層、精準控制膜層厚度,而且在能夠實現超低厚度下第二金屬層具有高連續性,所得材料的透光性能好。
本發明授權一種透光金屬材料及其制備方法與應用在權利要求書中公布了:1.一種透光金屬材料,其特征在于,所述透光金屬材料包括依次設置的第一金屬層和第二金屬層,所述第一金屬層包括Pt、Ru中的至少一種,所述第二金屬層包括銀; 所述透光金屬材料通過以下方法制得: S1-1,在原子層沉積系統腔室內,采用等離子體對基材層進行活化; S1-2-1,在100~200℃內,將前驅體Ⅱ脈沖入原子層沉積系統腔室內,通入N2吹洗; S1-2-2,將反應物Ⅱ脈沖入原子層沉積系統腔室內,通入N2吹洗; S1-2-3,重復步驟S1-2-1和S1-2-2m次,于基材層表面形成第一金屬層;m為整數,0m200; S2-1,在100~200℃內,將前驅體Ⅰ脈沖入原子層沉積系統腔室內,通入N2吹洗; S2-2,將反應物Ⅰ脈沖入原子層沉積系統腔室內,通入N2吹洗; S2-3,重復步驟S2-1和S2-2n次,于第一金屬層表面形成第二金屬層; 所述前驅體Ⅰ包括AgpivPEt3、AgpivPBu3、AgfodPEt3或AghfacCOD中的至少一種,所述反應物Ⅰ包括H2O、O2、O3、NH3、H2、NH3等離子體、H2等離子體或O2等離子體中的至少一種; 所述前驅體Ⅱ包括RuCp2、RuEtCp2、EtCpRuMeCp、RutBu-Me-amd2CO2、RuDMPD2、RuDMBDCO3、MeCpPtMe3、Ptacac2中的至少一種,所述反應物Ⅱ包括H2O、O2、O3、NH3、H2、NH3等離子體、H2等離子體或O2等離子體中的至少一種。
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