深圳中寶新材科技有限公司李盛偉獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳中寶新材科技有限公司申請的專利一種半導體器件鍵合絲的鍵合質量評定方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120161314B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510639574.1,技術領域涉及:G01R31/26;該發明授權一種半導體器件鍵合絲的鍵合質量評定方法是由李盛偉;李妍瓊設計研發完成,并于2025-05-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種半導體器件鍵合絲的鍵合質量評定方法在說明書摘要公布了:本發明涉及測量電變量技術領域,具體為一種半導體器件鍵合絲的鍵合質量評定方法,包括以下步驟:使用電阻脈沖測量設備對半導體器件鍵合絲施加脈沖電流,同時記錄鍵合點的即時電壓響應,生成電壓響應數據。本發明通過施加脈沖電流并記錄鍵合點的即時電壓響應,實現鍵合絲電阻動態特性的深入探測和分析,從而捕捉鍵合連接處微小的電阻波動;在動態電阻數據基礎上,進一步實施頻率掃描測量,獲取不同頻率下電阻的細致變化規律,直觀呈現鍵合絲的電阻穩定性表現;隨后借助對鍵合點周圍電容異常區域的精確定位,配合動態負載條件下電流、電壓響應特征的實時跟蹤,系統性地揭示了鍵合連接在復雜環境條件下的可靠性表現。
本發明授權一種半導體器件鍵合絲的鍵合質量評定方法在權利要求書中公布了:1.一種半導體器件鍵合絲的鍵合質量評定方法,其特征在于,包括以下步驟: 使用電阻脈沖測量設備對半導體器件鍵合絲施加脈沖電流,同時記錄鍵合點的即時電壓響應,生成電壓響應數據;根據所述電壓響應數據分析鍵合點在脈沖電流作用下的電阻動態變化,得到電阻動態特性分析結果; 基于所述電阻動態特性分析結果,對電阻動態特性分析結果的曲線進行頻率掃描,測量不同頻率下的電阻值,生成頻率響應數據;通過對所述頻率響應數據的評估,計算鍵合絲的電阻穩定性,得到電阻穩定性評估結果; 對鍵合點周圍的電容進行測量,記錄電容值,識別與正常鍵合相比電容值異常的區域,得到異常電容分析結果; 根據所述異常電容分析結果,應用動態負載電測試,記錄在變化負載條件下的電壓和電流響應,生成負載響應數據;通過對所述負載響應數據的分析,評估鍵合質量,得到鍵合質量綜合評定結果; 所述鍵合質量綜合評定結果的獲取步驟為: 從所述負載響應數據中篩選完整周期樣本段,提取每段內的峰值電壓、峰值電流、基線電壓和基線電流,并同步記錄負載切換瞬間后的響應滯后時間和周期中電壓極值出現的時間點,得到峰值與時序參數組; 基于所述峰值與時序參數組,計算鍵合完整性指數,計算公式為: ; 其中,為鍵合完整性指數,表示單周期負載響應中的峰值電壓,表示單周期負載響應中的峰值電流,表示單周期基線電壓,表示單周期基線電流,表示負載切換后至電壓響應開始的滯后時間,表示該周期內電壓峰值出現的時間點; 基于所述鍵合完整性指數,調用多個測試周期的鍵合完整性指數構建對比矩陣,進行橫向區間分析和縱向趨勢剖面分析,判定在所有測試周期中是否存在異常區段,形成鍵合質量綜合評定結果。
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