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龍圖騰網獲悉華海清科股份有限公司申請的專利一種電化學機械拋光頭、拋光裝置和拋光方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120134208B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510600889.5，技術領域涉及：B24B37/12；該發明授權一種電化學機械拋光頭、拋光裝置和拋光方法是由張金鑫;孟松林;王宇;張洪蛟;金軍;左少杰設計研發完成，并于2025-05-12向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種電化學機械拋光頭、拋光裝置和拋光方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種電化學機械拋光頭、拋光裝置和拋光方法，屬于晶圓制造技術領域。該電化學機械拋光頭包括：聯軸盤，中心設置有定位孔；承載盤，匹配設置有軸部，所述軸部滑動連接于定位孔中，使得承載盤隨聯軸盤旋轉和或沿豎直方向移動；導電的彈性膜，設置于承載盤下方，用于裝載待處理的晶圓；保持環，設置于承載盤下方并位于彈性膜的外周側；電連接組件，豎向設置于沿所述軸部配置的安裝孔中，其一端與電源連接，另一端與所述彈性膜的中心腔室連接，使得待處理的晶圓處于彈性膜與拋光液之間形成的電場中；所述電連接組件的至少部分為柔性件，其沿豎向伸縮以適應彈性膜的變形，進而在彈性膜與拋光液之間形成穩定的電場。

本發明授權一種電化學機械拋光頭、拋光裝置和拋光方法在權利要求書中公布了：1.一種電化學機械拋光頭，其特征在于，包括： 聯軸盤，中心設置有定位孔； 承載盤，匹配設置有軸部，所述軸部滑動連接于定位孔中，使得承載盤隨聯軸盤旋轉和或沿豎直方向移動； 導電的彈性膜，設置于承載盤下方，用于裝載待處理的晶圓； 保持環，設置于承載盤下方并位于彈性膜的外周側； 電連接組件，豎向設置于沿所述軸部配置的安裝孔中，其一端與電源連接，另一端與所述彈性膜的中心腔室連接，使得待處理的晶圓處于彈性膜與拋光液之間形成的電場中； 所述電連接組件的至少部分為柔性件，其沿豎向伸縮以適應彈性膜的變形，進而在彈性膜與拋光液之間形成穩定的電場；所述電連接組件包括上導電桿和下導電桿，兩者之間可拆卸地連接有彈銷結構，以調整電連接組件的長度；所述彈銷結構包括彈簧和銷軸，兩者相互卡接為一體并抵接于上導電桿及下導電桿相對面的凹槽中； 還包括防護組件，其設置于上導電桿和下導電桿的外側，以防止液體進入電連接組件的內部；所述防護組件包括第一防護套和第二防護套，所述第一防護套設置于上導電桿的外側，所述第二防護套設置于下導電桿的外側。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人華海清科股份有限公司，其通訊地址為：300350 天津市津南區咸水沽鎮聚興道11號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。