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龍圖騰網獲悉杭州電子科技大學;瑞安市人民醫院(瑞安市人民醫院醫療服務集團瑞安市紅十字醫院);紹興君尚英高新材料科技有限公司申請的專利一種表面金字塔多級有序壓阻型傳感器的制備方法及應用獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120101984B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510594391.2，技術領域涉及：G01L1/22；該發明授權一種表面金字塔多級有序壓阻型傳感器的制備方法及應用是由王雅新;章文婷;孔哲;湯呈宣;趙曉宇;張鑒;鐘熙強;何少奇;崔茹飛;高稔現;溫嘉紅;朱大鵬;謝敏;張坤;張永軍設計研發完成，并于2025-05-09向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種表面金字塔多級有序壓阻型傳感器的制備方法及應用在說明書摘要公布了：本發明提供一種表面金字塔多級有序壓阻型傳感器制備方法及應用，先獲取表面覆蓋有SiO2薄膜的Si襯底，所述Si襯底的晶向為100；所述SiO2薄膜表面覆蓋有光刻膠層，所述光刻膠層上曝光有若干組圓點，每組由平行排列的3排圓點組成；再利用顯影液顯影后，將暴露的SiO2進行等離子刻蝕以暴露出Si襯底；去除光刻膠后利用NaOH溶液對裸露的Si進行濕刻蝕，得到硅模板；將導電材料傾倒于硅模板上，加熱固化后，從硅模板上剝離，得到表面金字塔多級有序壓阻型傳感器的傳感層，本發明改善傳感器對于電極接觸面積與可壓縮性的依賴，提高靈敏度和傳感范圍。

本發明授權一種表面金字塔多級有序壓阻型傳感器的制備方法及應用在權利要求書中公布了：1.一種表面金字塔多級有序壓阻型傳感器制備方法，其特征在于，包括以下步驟： S1、獲取表面覆蓋有SiO2薄膜的Si襯底，所述Si襯底的晶向為100； 所述SiO2薄膜表面覆蓋有光刻膠層，激光直寫時，所述光刻膠層上曝光有若干組圓點，每組由平行排列的3排圓點組成；每排圓點的數量不小于3個； 3種直徑的圓點按直徑由小到大分別命名為圓一、圓二、圓三，3排圓點依次由圓一、圓二、圓三組成，分別命名為排一、排二、排三； 每排中的圓一、圓二和圓三之間間距固定，記為d；且相鄰排之間的間距也為d； 再利用顯影液顯影后，將暴露的SiO2進行等離子刻蝕以暴露出Si襯底；去除光刻膠后利用NaOH溶液對裸露的Si進行濕刻蝕，在Si襯底上得到等間距的3排金字塔型凹坑；最后去除SiO2得到硅模板； S2、使用多壁碳納米管、石墨烯與正己烷混合后制備PDMS基導電材料； S3、將導電材料傾倒于硅模板上，加熱固化后，從硅模板上剝離，得到表面金字塔多級有序壓阻型傳感器的傳感層。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人杭州電子科技大學;瑞安市人民醫院(瑞安市人民醫院醫療服務集團瑞安市紅十字醫院);紹興君尚英高新材料科技有限公司，其通訊地址為：310018 浙江省杭州市錢塘區白楊街道2號大街1158號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。