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龍圖騰網獲悉南京理工大學申請的專利一種諧振梁加速度計加工誤差標定與加速度讀出方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115219736B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210792215.6，技術領域涉及：G01P21/00；該發明授權一種諧振梁加速度計加工誤差標定與加速度讀出方法是由夏國明;李靜格;施芹;趙陽;裘安萍設計研發完成，并于2022-07-07向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種諧振梁加速度計加工誤差標定與加速度讀出方法在說明書摘要公布了：本發明開發了一種諧振梁加速度計加工誤差標定與加速度讀出方法，針對MEMS加工工藝導致的梁寬加工誤差，通過標定出實際梁寬，帶入諧振器內部結構參數，利用最小二乘法求解出加速度和共模應力。本發明提供的加速度和共模應力的解算不需要額外增加其它設備，僅利用已知參數和求出梁寬加工誤差參數帶入矩陣中求解出加速度和軸向力的方法。

本發明授權一種諧振梁加速度計加工誤差標定與加速度讀出方法在權利要求書中公布了：1.一種諧振梁加速度計加速度讀出方法，其特征在于，加速度a： 其中f1表示測量出的諧振器1的輸出頻率；f01表示在自由狀態下諧振器1的輸出頻率；f2表示測量出的諧振器2的輸出頻率；f02表示在自由狀態下諧振器2的輸出頻率；w1表示諧振梁1的實際寬度；w2表示諧振梁2的實際寬度；l表示諧振梁長度；n表示杠桿位移比；ω表示敏感質量塊的基頻； 加速度讀出過程包括以下步驟： S1、對諧振器1和諧振器2的實際諧振梁寬度w1和w2進行標定；具體包括以下步驟： S1.1、通過重力場翻轉法測試獲得在+1g和-1g輸入情況下諧振器1和諧振器2頻率輸出的f1，out+1g、f1，out-1g、f2，out+1g和f2，out-1g，根據公式1和2分別計算出諧振器1和諧振器2標度因數k1和k2的值： S1.2、根據公式3和4，代入標度因數測量結果，分別計算出諧振器1和諧振器2的實際諧振梁寬度值w1和w2： 其中，ρ表示單晶硅密度；Acomb表示諧振器梳齒等效面積；E表示硅材料的楊氏模量； S2、求諧振梁加速度計參數：包括敏感質量塊的基頻ω，測量出的諧振器1的輸出頻率f1，測量出的諧振器2的輸出頻率f2，自由狀態下諧振器1的輸出頻率f01，自由狀態下諧振器2的輸出頻率f02； 計算加速度a和軸向力F： 利用最小二乘法求解上述矩陣； 步驟S2具體包括以下步驟： S2.1：通過敲擊法獲得加速度敏感質量塊的基頻ω； S2.2：通過實驗得出諧振器1和諧振器2的輸出頻率； S2.3：根據計算出的諧振器1和諧振器2實際諧振梁寬度值w1和w2，利用公式5和6求出在自由狀態下的諧振器1和諧振器2的輸出頻率： 其中，h表示諧振梁厚度；mcomb代表諧振梁梳齒電極質量。

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