中國科學技術大學黃瑞萱獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國科學技術大學申請的專利一種高重復頻率的極紫外輻射光源及EUV光刻機光源獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114995072B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210756914.5，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權一種高重復頻率的極紫外輻射光源及EUV光刻機光源是由黃瑞萱;李成;賈啟卡設計研發完成，并于2022-06-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種高重復頻率的極紫外輻射光源及EUV光刻機光源在說明書摘要公布了：本發明提供了一種高重復頻率的極紫外輻射光源及EUV光刻機光源，其中一部分所述目標激光脈沖入射至兆瓦級光學增益腔內產生兆瓦平均功率的第二紅外激光脈沖；另一部分所述目標激光脈沖經過倍頻整形處理后入射至常溫甚高頻光陰極微波電子槍，驅動所述常溫甚高頻光陰極微波電子槍產生百兆赫茲重復頻率的連續皮秒電子束；所述連續皮秒電子束入射至所述兆瓦級光學增益腔內，與所述第二紅外激光脈沖進行逆康普頓散射產生極紫外波段輻射；進一步的，通過調節連續皮秒電子束的能量以及激光入射角度，即可使散射光的波長在一定范圍內可調，即實現了一種高重復頻率的極紫外輻射光源。
本發明授權一種高重復頻率的極紫外輻射光源及EUV光刻機光源在權利要求書中公布了：1.一種高重復頻率的極紫外輻射光源，其特征在于，所述極紫外輻射光源包括： 摻鐿飛秒光釬主振蕩器，用于產生百兆赫茲毫瓦功率的第一紅外激光脈沖； 啁啾脈沖放大系統，用于對所述第一紅外激光脈沖進行處理生成瓦級功率的皮秒激光脈沖； 低溫冷卻兩通道放大器，用于對所述皮秒激光脈沖進行處理生成千瓦以上平均功率的目標激光脈沖； 其中，一部分所述目標激光脈沖入射至兆瓦級光學增益腔內產生兆瓦平均功率的第二紅外激光脈沖；另一部分所述目標激光脈沖經過倍頻整形處理后入射至常溫甚高頻光陰極微波電子槍，驅動所述常溫甚高頻光陰極微波電子槍產生百兆赫茲重復頻率的連續皮秒電子束；所述連續皮秒電子束入射至所述兆瓦級光學增益腔內，與所述第二紅外激光脈沖進行逆康普頓散射產生極紫外波段輻射。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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