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龍圖騰網(wǎng)獲悉上海精測(cè)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司申請(qǐng)的專利一種帶電粒子束掃描成像設(shè)備實(shí)際像素尺寸的獲取方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114240850B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111412501.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06T7/00；該發(fā)明授權(quán)一種帶電粒子束掃描成像設(shè)備實(shí)際像素尺寸的獲取方法是由劉驪松;張旭;黃濤;夏霞設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-11-25向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種帶電粒子束掃描成像設(shè)備實(shí)際像素尺寸的獲取方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種帶電粒子束掃描成像設(shè)備實(shí)際像素尺寸的獲取方法，包括:在晶圓上采集模板圖像，在所述模板圖像中提取模板；按預(yù)設(shè)方向移動(dòng)晶圓并采集目標(biāo)圖像，根據(jù)所述模板在所述目標(biāo)圖像中進(jìn)行模板匹配以獲得匹配位置，獲取所述模板和匹配位置之間的目標(biāo)位移，將所述目標(biāo)圖像作為所述模板圖像，進(jìn)行下一次的所述提取模板和模板匹配以獲得另一所述目標(biāo)位移，當(dāng)滿足預(yù)設(shè)停止條件時(shí)停止采集圖像和提取模板；根據(jù)累積的所述目標(biāo)位移和晶圓實(shí)際位移獲取所述實(shí)際像素尺寸。本發(fā)明提供了一種帶電粒子束掃描成像設(shè)備實(shí)際像素尺寸的獲取方法，進(jìn)行多次匹配，可以提高獲取實(shí)際像素尺寸的速度、精度和可靠性。

本發(fā)明授權(quán)一種帶電粒子束掃描成像設(shè)備實(shí)際像素尺寸的獲取方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種帶電粒子束掃描成像設(shè)備實(shí)際像素尺寸的獲取方法，其特征在于，包括: 在晶圓上采集模板圖像，在所述模板圖像中提取模板； 按預(yù)設(shè)方向移動(dòng)晶圓并采集目標(biāo)圖像，根據(jù)所述模板在所述目標(biāo)圖像中進(jìn)行模板匹配以獲得匹配位置，獲取所述模板和匹配位置之間的目標(biāo)位移，將所述目標(biāo)圖像作為所述模板圖像，進(jìn)行下一次的所述提取模板和模板匹配以獲得另一所述目標(biāo)位移，當(dāng)滿足預(yù)設(shè)停止條件時(shí)停止采集圖像和提取模板； 根據(jù)累積的部分或者全部所述目標(biāo)位移和晶圓實(shí)際位移獲取所述實(shí)際像素尺寸。

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