北京屹唐半導體科技股份有限公司;瑪特森技術公司辛孟陽獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京屹唐半導體科技股份有限公司;瑪特森技術公司申請的專利傳送裝置和處理系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113488422B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110734999.2，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權傳送裝置和處理系統是由辛孟陽;余飛;羅功林設計研發完成，并于2021-06-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本傳送裝置和處理系統在說明書摘要公布了：本公開提供了一種傳送裝置和處理系統。該傳送裝置可以包括第一傳送組件，用于向腔室傳送第一工件；第二傳送組件，用于從該腔室傳送出第二工件；阻隔組件，設置于該第一傳送組件與該第二傳送組件之間，用于阻隔該第一工件和該第二工件的能量傳遞；支撐組件，用于將該阻隔組件限制在該第一傳送組件與該第二傳送組件之間。本公開實施例通過阻隔組件阻隔第一傳送組件之上的工件和第二傳送組件之上的工件的能量傳遞，可以防止或避免第二傳送組件之上的工件對第一傳送組件之上的工件產生影響，有利于采用可重復的工藝對工件進行處理，提高工件產量。
本發明授權傳送裝置和處理系統在權利要求書中公布了：1.一種傳送裝置，包括： 第一傳送組件，包括第一傳送臂，用于向腔室傳送第一工件； 第二傳送組件，包括第二傳送臂，用于從所述腔室傳送出第二工件，所述第一傳送組件的第一傳送臂和所述第二傳送組件的第二傳送臂是上下同軸的，所述第一傳送組件的第一傳送臂的一端和所述第二傳送組件的第二傳送臂的一端分別連接在支撐組件的第一軸； 阻隔組件，設置于所述第一傳送組件下方以及所述第二傳送組件上方，用于阻隔所述第一工件和所述第二工件的能量傳遞； 所述支撐組件，用于將所述阻隔組件限制在所述第一傳送組件與所述第二傳送組件之間； 其中，所述第一傳送組件的第一端耦合所述支撐組件，所述第一傳送組件的第二端用于沿著第一工件傳送方向往復運動；并且，所述第二傳送組件的第一端耦合所述支撐組件，所述第二傳送組件的第二端用于沿著第二工件傳送方向往復運動； 其中，所述能量包括紅外輻射，所述紅外輻射的波長范圍為1微米至20微米。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京屹唐半導體科技股份有限公司;瑪特森技術公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區經濟技術開發區經海二路28號8幢；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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