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龍圖騰網(wǎng)獲悉中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;中芯國際集成電路制造(北京)有限公司申請(qǐng)的專利半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114792733B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110107070.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H10D30/62；該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法是由紀(jì)登峰;金懿設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-01-26向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法在說明書摘要公布了：一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法，包括：襯底，襯底包括第一區(qū)和第二區(qū)，第一區(qū)上具有第一鰭部，第二區(qū)上具有第二鰭部；第一柵極結(jié)構(gòu)、第二柵極結(jié)構(gòu)、第一源漏摻雜層、第二源漏摻雜層和第一介質(zhì)層，第一區(qū)上的第一介質(zhì)層的頂部表面低于第二區(qū)上的第一介質(zhì)層的頂部表面；位于第一區(qū)上的第一介質(zhì)層上的第一阻擋層；第一開口和第二開口，第一開口位于第一阻擋層和第一區(qū)上的第一介質(zhì)層內(nèi)，第二開口位于第二區(qū)上的第一介質(zhì)層內(nèi)。由于第一阻擋層的刻蝕速率小于第一介質(zhì)層的刻蝕速率，因此在形成第一開口過程中，通過第一阻擋層消耗一定的刻蝕時(shí)間，使得最終刻蝕第一源漏摻雜層的時(shí)間減少，避免刻蝕穿透第一源漏摻雜層，提升最終形成的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的性能。

本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括： 襯底，所述襯底包括第一區(qū)和第二區(qū)，所述第一區(qū)上具有若干相互分立的第一鰭部，所述第二區(qū)上具有若干相互分立的第二鰭部，所述第一鰭部和所述第二鰭部分別沿第一方向延伸； 若干第一柵極結(jié)構(gòu)、若干第二柵極結(jié)構(gòu)、若干第一源漏摻雜層、若干第二源漏摻雜層和第一介質(zhì)層，所述第一柵極結(jié)構(gòu)橫跨所述第一鰭部，相鄰的所述第一柵極結(jié)構(gòu)之間沿所述第一方向具有第一尺寸，所述第二柵極結(jié)構(gòu)橫跨所述第二鰭部，相鄰的所述第二柵極結(jié)構(gòu)之間沿所述第一方向具有第二尺寸，所述第二尺寸小于所述第一尺寸，所述第一源漏摻雜層位于所述第一柵極結(jié)構(gòu)兩側(cè)的第一鰭部內(nèi)，所述第二源漏摻雜層位于所述第二柵極結(jié)構(gòu)兩側(cè)的第二鰭部內(nèi)，所述第二源漏摻雜層的厚度大于所述第一源漏摻雜層的厚度，所述第一介質(zhì)層覆蓋所述第一柵極結(jié)構(gòu)和所述第二柵極結(jié)構(gòu)的側(cè)壁，且位于所述第一區(qū)上的所述第一介質(zhì)層的頂部表面低于位于所述第二區(qū)上的所述第一介質(zhì)層的頂部表面； 第一阻擋層，所述第一阻擋層位于所述第一區(qū)上的第一介質(zhì)層上； 第一開口和第二開口，所述第一開口位于所述第一阻擋層和所述第一區(qū)上的第一介質(zhì)層內(nèi)，所述第一開口暴露出所述第一源漏摻雜層，所述第二開口位于所述第二區(qū)上的第一介質(zhì)層內(nèi)，所述第二開口暴露出所述第二源漏摻雜層；其中， 所述第一開口通過刻蝕去除部分所述第一介質(zhì)層和所述第一阻擋層形成，所述第二開口通過刻蝕去除部分所述第一介質(zhì)層形成，所述第一阻擋層的刻蝕速率小于所述第一介質(zhì)層的刻蝕速率。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;中芯國際集成電路制造(北京)有限公司，其通訊地址為：201203 上海市浦東新區(qū)張江路18號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。