應用材料股份有限公司孫大偉獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉應用材料股份有限公司申請的專利可偏轉壓板以及使壓板偏轉的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114631177B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080076072.8，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權可偏轉壓板以及使壓板偏轉的方法是由孫大偉;殷明設計研發完成，并于2020-10-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本可偏轉壓板以及使壓板偏轉的方法在說明書摘要公布了：一種可偏轉壓板以及使壓板偏轉的方法。可偏轉壓板包括：環形側壁；第一層，耦合到環形側壁，第一層具有與第一層相關聯的第一溫度控制元件；第二層，耦合到環形側壁且以與第一層平行、間隔開的關系設置，從而在第一層與第二層之間界定間隙，第二層具有與第二層相關聯的第二溫度控制元件；以及控制器，耦合到第一溫度控制元件及第二溫度控制元件，并被配置成操作第一溫度控制元件及第二溫度控制元件以改變第一層及第二層相對于彼此的溫度，從而使壓板偏轉以更緊密地匹配晶片的輪廓。
本發明授權可偏轉壓板以及使壓板偏轉的方法在權利要求書中公布了：1.一種可偏轉壓板，包括： 環形側壁； 第一層，耦合到所述環形側壁，所述第一層具有與所述第一層相關聯的第一溫度控制元件；以及 第二層，耦合到所述環形側壁且以與所述第一層平行、間隔開的關系設置，從而在所述第一層與所述第二層之間界定間隙，所述第二層具有與所述第二層相關聯的第二溫度控制元件， 其中所述間隙處于真空下且在所述第一層與所述第二層之間提供熱絕緣。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料股份有限公司，其通訊地址為：美國加州圣塔克拉爾,鮑爾斯大道3050號(郵遞區號:95054)；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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