朗姆研究公司普拉桑納·庫爾卡尼獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉朗姆研究公司申請的專利使用相機晶片的基座設置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114174556B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080055504.7，技術領域涉及：C23C16/458；該發明授權使用相機晶片的基座設置是由普拉桑納·庫爾卡尼;雷切爾·E·巴策爾;泰德·譚;維韋卡南丹·克里希納斯瓦米;布尼亞里特·文普拉瑟特;肖恩·菲德勒設計研發完成，并于2020-07-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本使用相機晶片的基座設置在說明書摘要公布了：一種方法包含：將裝置布置于處理室中的基座的頂表面上。所述裝置包含：環形構件；N個支撐構件；以及N個銷，其中N為大于2的整數。N個支撐構件將所述環形構件支撐于與所述基座的所述頂表面平行的平面中且支撐于所述頂表面上方。所述N個銷垂直于沿著環繞所述環形構件的圓周的平面而布置。所述N個銷中的每一個包含能夠與所述裝置中的相應螺紋槽嚙合的螺紋。所述N個銷中的每一個包含指向所述基座的所述頂表面且能與所述基座的所述頂表面的周圍接合的錐狀端點。所述方法還包含：通過調整所述N個銷中的一或多個而將所述環形構件的中心與所述基座的中心對準。
本發明授權使用相機晶片的基座設置在權利要求書中公布了：1.一種用于襯底處理系統的裝置，其包含： 沿著第一平面布置的環形構件； N個第一構件，其從所述環形構件的圓周垂直于所述第一平面延伸，其中N為大于2的整數，其中所述N個第一構件中的每一個的第一部分在所述第一平面上方延伸，且其中所述N個第一構件中的每一個的第二部分在所述第一平面下方延伸； N個第二構件，其從所述N個第一構件的所述第二部分沿著平行于所述第一平面的第二平面徑向向外延伸，其中所述N個第二構件中的每一個位于所述N個第一構件中的不同的一對之間；以及 N個銷，其垂直于所述第二平面從所述N個第二構件向下延伸，所述N個銷具有錐形端點， 其中所述N個銷與所述環形構件的中心等距，且包含能與所述N個第二構件中的螺紋槽相嚙合的螺紋。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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