南京大學周峰獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉南京大學申請的專利一種脈沖激光輻照實驗裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120334703B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510826207.2,技術領域涉及:G01R31/26;該發明授權一種脈沖激光輻照實驗裝置是由周峰;唐鉦翔;陸海;徐尉宗;任芳芳;周東設計研發完成,并于2025-06-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種脈沖激光輻照實驗裝置在說明書摘要公布了:本發明涉及一種脈沖激光輻照實驗裝置。包括光學參數測量平臺、光路耦合模塊、光電測試模塊、電學測試平臺以及第一控制系統和第二控制系統;所述第一控制系統用于將橢偏狀態變化參數與掃描模型進行擬合得到單層薄膜的折射率、消光系數;所述第二控制系統用于將薄膜的折射率、消光系數、反射率和透射率輸入器件入射模型計算不同波長脈沖激光在待測寬禁帶功率器件內穿過各層薄膜到達有源區時的有效脈沖激光能量,根據有效脈沖激光能量得到等效重離子LET值,控制光路耦合模塊、光電測試模塊和電學測試平臺閉環調節脈沖激光能量。本發明實現了脈沖激光能量的準確把控與調節。
本發明授權一種脈沖激光輻照實驗裝置在權利要求書中公布了:1.一種脈沖激光輻照實驗裝置,其特征在于:包括光學參數測量平臺、光路耦合模塊、光電測試模塊、電學測試平臺以及第一控制系統和第二控制系統; 所述光學參數測量平臺用于在全光譜范圍內測量與待測寬禁帶功率器件各層薄膜材料對應的、生長于襯底上的單層薄膜的橢偏狀態變化參數、反射率和透射率; 所述光路耦合模塊用于通過光路將脈沖激光入射到待測寬禁帶功率器件的表面,控制脈沖激光波長、能量、入射位置,并對待測寬禁帶功率器件表面形貌、脈沖激光照射位置進行實時成像; 所述光電測試模塊經探針臺與待測寬禁帶功率器件的柵極、漏極、源極電連接,用于在輻照前后對待測寬禁帶功率器件進行常規電性測試與光電特性測試; 所述電學測試平臺通過預留電源線接口與測試電路連接,待測寬禁帶功率器件通過插拔方式接入測試電路,用于在輻照前后對待測寬禁帶功率器件進行動態開關特性測試; 所述第一控制系統用于將橢偏狀態變化參數與掃描模型進行擬合得到單層薄膜的折射率、消光系數并向第二控制系統傳輸單層薄膜的折射率、消光系數、反射率和透射率; 所述第二控制系統用于將薄膜的折射率、消光系數、反射率和透射率輸入器件入射模型計算不同波長脈沖激光在待測寬禁帶功率器件內穿過各層薄膜到達有源區時的有效脈沖激光能量,根據有效脈沖激光能量得到等效重離子LET值,根據等效重離子LET值控制光路耦合模塊、光電測試模塊和電學測試平臺閉環調節脈沖激光能量。
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