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龍圖騰網獲悉蘇州賽騰精密電子股份有限公司申請的專利晶圓檢測裝置及檢測方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120319681B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510817412.2，技術領域涉及：H01L21/66；該發明授權晶圓檢測裝置及檢測方法是由孫豐;盛凱設計研發完成，并于2025-06-18向國家知識產權局提交的專利申請。

本晶圓檢測裝置及檢測方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種晶圓檢測裝置及檢測方法，屬于晶圓檢測領域，其包括：旋轉臺，適于承載吸附晶圓，并帶動晶圓旋轉；定位機構，適于在晶圓旋轉過程中檢測晶圓的偏移量；調整機構，適于將晶圓頂升離所述旋轉臺，并響應于所述定位機構所檢測到的偏移量，帶動頂升后的晶圓沿第一水平方向和垂直于第一水平方向的第二水平方向微調晶圓；第一檢測機構，用于檢測晶圓的邊緣；第一支撐機構，位于晶圓下方，且與所述第一檢測機構檢測區域內的部分晶圓相對應，所述第一支撐機構適于向上靠近并支撐晶圓的邊緣；晶圓適于在所述旋轉臺的帶動下旋轉，以使其周緣的各部分均流經所述第一檢測機構的檢測區域。本發明采用上述結構，能夠精準高效地檢測晶圓。

本發明授權晶圓檢測裝置及檢測方法在權利要求書中公布了：1.一種晶圓檢測裝置，其特征在于，包括： 旋轉臺（100），適于承載吸附晶圓（110），并帶動晶圓（110）旋轉； 定位機構（300），適于在晶圓（110）旋轉過程中檢測晶圓（110）的偏移量，所述定位機構（300）位于所述旋轉臺（100）在第一水平方向的一側，其包括：第一支架（310）；檢測傳感器（320），設置在所述第一支架（310）上，且檢測方向平行于豎直方向，所述檢測傳感器（320）沿豎直方向間隔布置有兩個，兩個所述檢測傳感器（320）的檢測端相對布置；其中，兩個所述檢測傳感器（320）之間形成有檢測區域，所述旋轉臺（100）帶動晶圓（110）旋轉過程中，晶圓（110）的邊緣適于流經所述檢測傳感器（320）的檢測區域； 調整機構（200），適于將晶圓（110）頂升離所述旋轉臺（100），并響應于所述定位機構（300）所檢測到的偏移量，帶動頂升后的晶圓（110）沿第一水平方向和垂直于第一水平方向的第二水平方向微調晶圓（110）； 第一檢測機構（400），用于檢測晶圓（110）的邊緣； 第一支撐機構（500），位于晶圓（110）下方，且與所述第一檢測機構（400）檢測區域內的部分晶圓（110）相對應，所述第一支撐機構（500）適于向上靠近并支撐晶圓（110）的邊緣； 其中，晶圓（110）適于在所述旋轉臺（100）的帶動下旋轉，以使其周緣的各部分均流經所述第一檢測機構（400）的檢測區域。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州賽騰精密電子股份有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市吳中經濟開發區郭巷街道淞葭路585號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。