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龍圖騰網(wǎng)獲悉深圳市云在上半導(dǎo)體材料有限公司;湖南湘芯新材料有限公司申請的專利半導(dǎo)體設(shè)備用聚焦環(huán)的制備裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120272890B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510767379.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/54；該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體設(shè)備用聚焦環(huán)的制備裝置是由張桂華;劉暢;伊小念;劉錦豪設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-06-10向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本半導(dǎo)體設(shè)備用聚焦環(huán)的制備裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了半導(dǎo)體設(shè)備用聚焦環(huán)的制備裝置，包括安裝臺，熱腔、制備腔、過渡腔和冷卻腔內(nèi)均設(shè)置有安裝臺，所述安裝臺上部連接有多個呈環(huán)形陣列分布的柱狀件，所述柱狀件上部依次可拆卸的連接有多個拆裝架，所述拆裝架上部放置有聚焦環(huán)基材，所述聚焦環(huán)基材為制備半導(dǎo)體設(shè)備用聚焦環(huán)的基材。本發(fā)明利用柱狀件和拆裝架可對多個聚焦環(huán)基材進行堆疊放置，單次可沉積多個聚焦環(huán)，且拆裝架與聚焦環(huán)基材的接觸面積僅為三個點，使得聚焦環(huán)基材與拆裝架的接觸面積極小，便于聚焦環(huán)基材的拆卸和安裝，且接觸面積小，降低接觸位置對聚焦環(huán)成型質(zhì)量的影響。

本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體設(shè)備用聚焦環(huán)的制備裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.半導(dǎo)體設(shè)備用聚焦環(huán)的制備裝置，包括支撐外框架（1），所述支撐外框架（1）由頂部支撐板、中部制備框殼和底部支撐框殼依次連接構(gòu)成，所述中部制備框殼為圓環(huán)型腔室，其特征在于，所述半導(dǎo)體設(shè)備用聚焦環(huán)的制備裝置還包括： 阻斷門模組（2），所述中部制備框殼的圓環(huán)型腔室通過阻斷門模組（2）分隔為四個腔室，依次分別為預(yù)熱腔（3）、制備腔（4）、過渡腔（5）和冷卻腔（6），所述阻斷門模組（2）用于控制預(yù)熱腔（3）、制備腔（4）、過渡腔（5）和冷卻腔（6）之間的通斷； 安裝臺（7），所述預(yù)熱腔（3）、制備腔（4）、過渡腔（5）和冷卻腔（6）內(nèi)均設(shè)置有安裝臺（7），所述安裝臺（7）上部連接有多個呈環(huán)形陣列分布的柱狀件（8），所述柱狀件（8）上部依次可拆卸的連接有多個拆裝架（9），所述拆裝架（9）上部放置有聚焦環(huán)基材（10），所述聚焦環(huán)基材（10）為制備半導(dǎo)體設(shè)備用聚焦環(huán)的基材； 所述柱狀件（8）包括粗底柱（81）和固定凸起塊（82），所述粗底柱（81）底部連接于安裝臺（7）頂部，所述粗底柱（81）頂部連接有多個呈環(huán)形陣列分布的固定凸起塊（82）； 所述拆裝架（9）包括拆裝環(huán)（91），所述拆裝環(huán)（91）側(cè)面連接有三個呈環(huán)形陣列分布的連接條（92）； 所述連接條（92）一端螺紋連接有接觸柱（93），所述接觸柱（93）頂端與聚焦環(huán)基材（10）底部接觸； 所述拆裝環(huán)（91）頂部連接有多個呈環(huán)形陣列分布的拆裝凸起塊（94），所述拆裝環(huán)（91）底部連接有多個呈環(huán)形陣列分布的拆裝凹槽（95），所述拆裝凸起塊（94）、固定凸起塊（82）均與拆裝凹槽（95）插接； 旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)分別與四個安裝臺（7）底部連接，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)用于旋轉(zhuǎn)安裝臺（7），使安裝臺（7）在預(yù)熱腔（3）、制備腔（4）、過渡腔（5）和冷卻腔（6）內(nèi)運行； 所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)還包括防偏組件（13），所述防偏組件（13）包括弧形隨動框（131）和固定軌道（132），所述弧形隨動框（131）連接于安裝臺（7）底部，所述固定軌道（132）連接于底部支撐框殼頂部； 所述固定軌道（132）頂面轉(zhuǎn)動連接有多個順滑滾球（133），所述順滑滾球（133）與固定軌道（132）頂面內(nèi)壁接觸； 所述預(yù)熱腔（3）與過渡腔（5）、冷卻腔（6）之間通過余熱利用組件（14）連接，所述余熱利用組件（14）包括中心管路（141），所述中心管路（141）設(shè)置于中部制備框殼中心處； 所述中心管路（141）側(cè)面分別與預(yù)熱腔（3）、過渡腔（5）和冷卻腔（6）連通，所述中部制備框殼外側(cè)連接有集中框殼（142），所述集中框殼（142）與預(yù)熱腔（3）連通。

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