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龍圖騰網(wǎng)獲悉中國(guó)計(jì)量大學(xué)申請(qǐng)的專(zhuān)利非線性誤差自補(bǔ)償?shù)募す飧缮婕{米位移測(cè)量裝置及方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120252497B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202510761264.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B9/02001；該發(fā)明授權(quán)非線性誤差自補(bǔ)償?shù)募す飧缮婕{米位移測(cè)量裝置及方法是由許素安;洪亮;章志勇;曾濤;富雅瓊;張寶武設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-06-09向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本非線性誤差自補(bǔ)償?shù)募す飧缮婕{米位移測(cè)量裝置及方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種非線性誤差自補(bǔ)償?shù)募す飧缮婕{米位移測(cè)量裝置及方法，本發(fā)明中的單頻激光器輸出的光束經(jīng)偏振片轉(zhuǎn)換為45°線偏振光，射向由偏振分光鏡、四分之一波片、固定鏡和移動(dòng)鏡組成的激光干涉單元，形成干涉信號(hào)。然后進(jìn)入電光晶體調(diào)制器、偏振分光鏡、光電探測(cè)器和電壓控制器組成的非線性誤差自補(bǔ)償?shù)碾姽饪刂茊卧?。通過(guò)正交的光電探測(cè)器光強(qiáng)信號(hào)做差值，差值與工作電壓求和作為電光調(diào)制器的驅(qū)動(dòng)電壓，采用光強(qiáng)差值的PID控制，實(shí)現(xiàn)相位自動(dòng)補(bǔ)償，從而補(bǔ)償主要由偏振混疊引起的光學(xué)非線性誤差。本發(fā)明采用電光效應(yīng)的偏振調(diào)制檢測(cè)方法與單頻偏振干涉測(cè)長(zhǎng)相結(jié)合，基于電光晶體對(duì)偏振光的精密調(diào)制與解調(diào)，實(shí)現(xiàn)干涉條紋的高倍細(xì)分。

本發(fā)明授權(quán)非線性誤差自補(bǔ)償?shù)募す飧缮婕{米位移測(cè)量裝置及方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.非線性誤差自補(bǔ)償?shù)募す飧缮婕{米位移測(cè)量裝置，其特征在于，包括： 光源模塊，用于提供單頻激光光束； 偏振光生成模塊，用于將所述單頻激光光束轉(zhuǎn)換為線偏振光； 光束分離模塊，用于將所述線偏振光分離為兩束偏振光，并分別引導(dǎo)至固定鏡和移動(dòng)鏡； 偏振態(tài)轉(zhuǎn)換模塊，用于將所述兩束偏振光分別轉(zhuǎn)換為圓偏振光，并在反射后再次轉(zhuǎn)換為線偏振光； 干涉合成模塊，用于將所述兩束線偏振光合成為一束線偏振光； 偏振態(tài)調(diào)制模塊，用于對(duì)所述合成的線偏振光進(jìn)行偏振態(tài)調(diào)制； 光強(qiáng)檢測(cè)模塊，用于檢測(cè)所述調(diào)制后的線偏振光的X軸方向光強(qiáng)和Y軸方向光強(qiáng)； 信號(hào)處理模塊，用于對(duì)所述光強(qiáng)檢測(cè)模塊的檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行處理，以計(jì)算偏振光的橢率角和取向角；所述取向角用于確定所述移動(dòng)鏡的位移量，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)位移測(cè)量精度，所述橢率角用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和補(bǔ)償由偏振混疊引起的光學(xué)非線性誤差； 誤差補(bǔ)償控制模塊，用于根據(jù)所述橢率角和取向角信息，動(dòng)態(tài)調(diào)整所述偏振態(tài)調(diào)制模塊的工作狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)光學(xué)非線性誤差的自補(bǔ)償； 非線性誤差自補(bǔ)償?shù)碾姽饪刂茊卧傻谝浑姽饩w調(diào)制器、第二電光晶體調(diào)制器、第二偏振分光鏡、電壓控制器、第一光電探測(cè)器和第二光電探測(cè)器組成； 線偏振光經(jīng)過(guò)第一電光晶體調(diào)制器、第二電光晶體調(diào)制器和第二偏振分光鏡，第二偏振分光鏡將光束分為兩束正交的P偏振光和S偏振光，由第一光電探測(cè)器和第二光電探測(cè)器進(jìn)行探測(cè)其X軸方向光強(qiáng)和Y軸方向光強(qiáng)； 兩光電探測(cè)器探測(cè)的光強(qiáng)差值信號(hào)反饋給電壓控制器，電壓控制器根據(jù)反饋信號(hào)動(dòng)態(tài)調(diào)整輸出電壓作用于兩電光晶體調(diào)制器； 通過(guò)控制電光晶體驅(qū)動(dòng)電壓實(shí)現(xiàn)相位自動(dòng)補(bǔ)償，實(shí)現(xiàn)合成干涉光偏振態(tài)精密調(diào)制，控制橢率角使其保持在0°，從而補(bǔ)償主要由偏振混疊引起的光學(xué)非線性誤差。

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