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龍圖騰網(wǎng)獲悉張家港安儲(chǔ)科技有限公司申請(qǐng)的專利一種用于半導(dǎo)體晶圓清洗過(guò)程中的清洗液組合物獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115232680B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202211003753.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C11D1/62；該發(fā)明授權(quán)一種用于半導(dǎo)體晶圓清洗過(guò)程中的清洗液組合物是由孫秀巖;王倩;張蕾設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-08-04向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種用于半導(dǎo)體晶圓清洗過(guò)程中的清洗液組合物在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種用于半導(dǎo)體晶圓清洗過(guò)程中的清洗液組合物，按照總質(zhì)量百分比100%計(jì)，包括以下原料組分：羥胺或羥胺鹽的化合物0.1?40%、有機(jī)酸0.1?10%、季銨堿0.1?30%、鏈烷醇胺0?20%，剩余為超純水。本發(fā)明的清洗液組合物，其通過(guò)羥胺或羥胺鹽的化合物能夠起到部分還原表面吸附的氧化鈰從而弱化氧化鈰粒子和氧化硅表面的吸附力，而有機(jī)酸的添加可以和氧化鈰表面的鈰離子形成絡(luò)合鍵從而打破氧化鈰粒子和氧化硅表面的結(jié)合以達(dá)到去除氧化硅表面吸附的氧化鈰納米粒子，另外該清洗液在使用時(shí)處于堿性環(huán)境，不會(huì)對(duì)氧化硅和氮化硅表面造成損傷。

本發(fā)明授權(quán)一種用于半導(dǎo)體晶圓清洗過(guò)程中的清洗液組合物在權(quán)利要求書中公布了：1.一種清洗液組合物在半導(dǎo)體晶圓制程中化學(xué)機(jī)械研磨后去除晶圓表面氧化鈰粒子的應(yīng)用，其特征在于，所述清洗液組合物的原料包括羥胺或羥胺鹽的化合物、有機(jī)酸、季銨堿、鏈烷醇胺，所述羥胺或羥胺鹽的化合物為羥胺或硫酸羥胺，所述季銨堿為四甲基氫氧化銨或氫氧化膽堿，鏈烷醇胺為乙醇胺, 當(dāng)季銨堿采用四甲基氫氧化銨時(shí)，所述清洗液組合物按照總質(zhì)量百分比100%計(jì)，包括以下原料組分：四甲基氫氧化銨為10%或22%、硫酸羥胺為5%、葡萄糖酸為1%、乙醇胺為0或5%，剩余為超純水，13.12≤pH≤14.89； 當(dāng)季銨堿采用氫氧化膽堿、羥胺或羥胺鹽的化合物采用了羥胺時(shí)，所述清洗液組合物按照總質(zhì)量百分比100%計(jì)，包括以下原料組分： 氫氧化膽堿為7.5-10.7%、羥胺為1.7-2.0%、有機(jī)酸為3.3-5.0%，剩余為超純水，11.29≤pH≤11.47，其中，所述有機(jī)酸選自檸檬酸、乙二胺四乙酸、葡萄糖酸、鄰苯二酚中的任一一種； 當(dāng)季銨堿采用氫氧化膽堿、羥胺或羥胺鹽的化合物采用了硫酸羥胺時(shí)，所述清洗液組合物按照總質(zhì)量百分比100%計(jì)，包括以下原料組分： 氫氧化膽堿為9.0-13.0%、硫酸羥胺為1.0-7.5%、乙醇胺為0或5%、葡萄糖酸為1.0%，剩余為超純水，13.03≤pH≤13.48。

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