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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司申請(qǐng)的專利上電極組件及半導(dǎo)體工藝腔室獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114823257B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210586098.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/244；該發(fā)明授權(quán)上電極組件及半導(dǎo)體工藝腔室是由王巖;余江浦;王偉設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-05-27向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本上電極組件及半導(dǎo)體工藝腔室在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)一種上電極組件及半導(dǎo)體工藝腔室，上電極組件包括蓋板、噴嘴、位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)和調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；所述蓋板開(kāi)設(shè)有安裝孔，所述噴嘴設(shè)置于所述安裝孔內(nèi)；所述位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述蓋板上，所述位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)用于檢測(cè)所述噴嘴在所述安裝孔內(nèi)的徑向位置；所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述蓋板，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)用于調(diào)節(jié)所述噴嘴在所述安裝孔內(nèi)的徑向位置；當(dāng)所述位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)檢測(cè)到所述噴嘴在所述安裝孔內(nèi)的徑向位置偏移時(shí)，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)可對(duì)所述噴嘴在所述安裝孔內(nèi)的徑向位置進(jìn)行調(diào)節(jié)，以對(duì)所述噴嘴在所述安裝孔內(nèi)的徑向位置進(jìn)行矯正。上述方案能夠解決半導(dǎo)體工藝腔室的工藝性能較差的問(wèn)題。

本發(fā)明授權(quán)上電極組件及半導(dǎo)體工藝腔室在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種上電極組件，應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝腔室，其特征在于，包括： 蓋板（110）和噴嘴（120），所述蓋板（110）開(kāi)設(shè)有安裝孔，所述噴嘴（120）設(shè)置于所述安裝孔內(nèi)； 位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)（130），所述位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)（130）設(shè)置于所述蓋板（110）上，所述位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)（130）用于檢測(cè)所述噴嘴（120）在所述安裝孔內(nèi)的徑向位置是否偏移； 調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（140），所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（140）設(shè)置于所述蓋板（110），所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（140）用于調(diào)節(jié)所述噴嘴（120）在所述安裝孔內(nèi)的徑向位置； 當(dāng)所述位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)（130）檢測(cè)到所述噴嘴（120）在所述安裝孔內(nèi)的徑向位置偏移時(shí)，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（140）可對(duì)所述噴嘴（120）在所述安裝孔內(nèi)的徑向位置進(jìn)行調(diào)節(jié)，以對(duì)所述噴嘴（120）在所述安裝孔內(nèi)的徑向位置進(jìn)行矯正。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)文昌大道8號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。