株式會社國際電氣笠松健太獲國家專利權(quán)

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龍圖騰網(wǎng)獲悉株式會社國際電氣申請的專利反應(yīng)管、處理裝置、和半導(dǎo)體裝置的制造方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115132560B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210273408.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該發(fā)明授權(quán)反應(yīng)管、處理裝置、和半導(dǎo)體裝置的制造方法是由笠松健太;平野敦士;山本哲夫;佐佐木隆史設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-03-18向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本反應(yīng)管、處理裝置、和半導(dǎo)體裝置的制造方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種反應(yīng)管、處理裝置、和半導(dǎo)體裝置的制造方法，減小處理室的基板設(shè)置區(qū)域中的壓力差，并使從排出部排出的氣體的流動均勻。反應(yīng)管構(gòu)成為在內(nèi)部形成有處理室，該處理室在一端設(shè)置有氣體供給部且在另一端設(shè)置有排出部，具備調(diào)節(jié)部，該調(diào)節(jié)部構(gòu)成為能夠抑制從排出部排出的氣體的流動，利用該調(diào)節(jié)部對處理室中的從氣體供給部到排出部的氣體流動，從而使從排出部排出的氣體的流動均勻。

本發(fā)明授權(quán)反應(yīng)管、處理裝置、和半導(dǎo)體裝置的制造方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種反應(yīng)管，其特征在于，在內(nèi)部形成有處理室，該處理室在一端設(shè)置有氣體供給部并在另一端設(shè)置有排出部，具備調(diào)節(jié)部，該調(diào)節(jié)部為了抑制從所述排出部排出的氣體的流動，構(gòu)成為至少確保所述排出部的橫向?qū)挾鹊乇人雠懦霾肯蛲鈧?cè)突出，所述調(diào)節(jié)部構(gòu)成為在所述排出部的上下方向上從所述處理室朝向外側(cè)的方向的厚度不同。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人株式會社國際電氣，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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