買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費！專利年費監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉應(yīng)用材料公司申請的專利利用浮動邊緣控制的拋光承載頭獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115008337B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210208134.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B24B37/10；該發(fā)明授權(quán)利用浮動邊緣控制的拋光承載頭是由S·M·蘇尼卡;A·J·納耿加斯特;J·古魯薩米設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-03-04向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本利用浮動邊緣控制的拋光承載頭在說明書摘要公布了：本申請公開了利用浮動邊緣控制的拋光承載頭。一種用于在拋光系統(tǒng)中固持基板的承載頭包括：殼體；環(huán)形主體，通過致動器相對于殼體是豎直地可移動的；第一環(huán)形隔膜，經(jīng)固定以在環(huán)形主體下方移動，從而在第一環(huán)形隔膜與環(huán)形主體之間形成至少一個下可加壓腔室；以及至少一個壓力供應(yīng)線，連接至至少一個下可加壓腔室。環(huán)形主體包括上部以及從該上部向下伸出的至少一個下桿，其中，該至少一個下桿位于至少一個下可加壓腔室內(nèi)部。

本發(fā)明授權(quán)利用浮動邊緣控制的拋光承載頭在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于在拋光系統(tǒng)中固持基板的承載頭，包括： 殼體； 柔性的中央隔膜，具有一個或多個翻板以用于形成一個或多個可加壓腔室； 保持環(huán)； 環(huán)形壓力控制組件，位于所述保持環(huán)與所述柔性的中央隔膜之間，所述環(huán)形壓力控制組件包括： 環(huán)形主體，所述環(huán)形主體通過致動器相對于所述殼體是豎直地可移動的，所述環(huán)形主體包括上部以及從所述上部向下伸出的至少一個下桿；和 第一環(huán)形隔膜，經(jīng)固定至所述環(huán)形主體并且在所述環(huán)形主體下方延伸，從而在所述第一環(huán)形隔膜與所述環(huán)形主體之間形成至少一個下可加壓腔室，其中，所述至少一個下桿位于所述至少一個下可加壓腔室內(nèi)部；以及至少一個壓力供應(yīng)線，連接至所述至少一個下可加壓腔室。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人應(yīng)用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。