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      勝高股份有限公司木瀨翔太獲國家專利權

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      龍圖騰網獲悉勝高股份有限公司申請的專利外延晶片的缺陷檢查方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114624251B

      龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202111507360.7,技術領域涉及:G01N21/95;該發明授權外延晶片的缺陷檢查方法是由木瀨翔太設計研發完成,并于2021-12-10向國家知識產權局提交的專利申請。

      外延晶片的缺陷檢查方法在說明書摘要公布了:提供一種能夠識別滑移位錯缺陷和失配位錯缺陷的外延晶片的檢查方法。在外延晶片(WF)中存在包含滑移位錯缺陷以及失配位錯缺陷的位錯缺陷(DF)時,利用晶片應力測定而求得前述外延晶片的殘留應力,在前述殘留應力為既定值(S0)以上時,判定為前述滑移位錯缺陷,在前述殘留應力小于前述既定值(S0)時,判定為前述失配位錯缺陷。

      本發明授權外延晶片的缺陷檢查方法在權利要求書中公布了:1.一種外延晶片的檢查方法,當在外延晶片存在包含滑移位錯缺陷以及失配位錯缺陷的位錯缺陷時,利用晶片應力測定而求得前述外延晶片的殘留應力,所述晶片應力測定為,對前述外延晶片照射紅外光并分析受到了應力的部分由于光彈性效果而產生的偏光狀態變化,作為應變進行測定, 在前述殘留應力為既定值以上時,判定為前述滑移位錯缺陷,在前述殘留應力小于前述既定值時,判定為前述失配位錯缺陷。

      如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人勝高股份有限公司,其通訊地址為:日本東京都;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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