奧加諾株式會社蔦野恭平獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉奧加諾株式會社申請的專利超純水供給系統、控制裝置以及程序獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116133762B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202180055028.3,技術領域涉及:B08B3/10;該發明授權超純水供給系統、控制裝置以及程序是由蔦野恭平;中居巧;菅原廣設計研發完成,并于2021-08-23向國家知識產權局提交的專利申請。
本超純水供給系統、控制裝置以及程序在說明書摘要公布了:超純水供給系統具有:流通管210,使超純水從超純水制造設備100流向清洗裝置120;處理單元110,設置于流通管210上;流通管220,在超純水制造設備100與處理單元110之間從流通管210分支出來,使超純水流向清洗裝置120;水量控制部310,設置于流通管220從流通管210分支的第一分支部;水量控制部320,對從流通管220流向清洗裝置120的超純水進行控制;比較部510,比較第一量與第二量,第一量是由處理單元110處理后的超純水中含有的雜質的量,所述第二量是未被處理單元110處理的超純水中含有的雜質的量;以及流路控制部520,根據比較的結果來控制水量控制部310、320。
本發明授權超純水供給系統、控制裝置以及程序在權利要求書中公布了:1.一種超純水供給系統,具有: 第一流通管,其使超純水從超純水制造設備流向清洗裝置; 處理單元,其設置于所述第一流通管上,對所述超純水進行處理; 第二流通管,其在所述超純水制造設備與所述處理單元之間從所述第一流通管分支出來,使超純水流向所述清洗裝置; 第一水量控制部,其設置于所述第二流通管從所述第一流通管分支的第一分支部; 第二水量控制部,其對從所述第二流通管流向所述清洗裝置的超純水進行控制; 比較部,其比較第一量與第二量,所述第一量是由所述處理單元處理后的超純水中含有的雜質的量,所述第二量是未被所述處理單元處理的超純水中含有的雜質的量;以及 流路控制部,其根據所述比較部的比較結果,來控制所述第一水量控制部和所述第二水量控制部。
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