買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉應用材料以色列公司申請的專利半導體樣本的檢查獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115023731B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080094814.X，技術領域涉及：G06T7/00；該發明授權半導體樣本的檢查是由D·阿爾蒙特;S·埃爾卡亞姆;S·科恩設計研發完成，并于2020-11-04向國家知識產權局提交的專利申請。

本半導體樣本的檢查在說明書摘要公布了：提供了使用檢查配方來檢查半導體樣本的系統和方法。所述方法包括以下步驟：獲得配準的圖像對；針對與給定層相關聯的每個基于設計的結構元件：計算邊緣屬性；使用經訓練的分類器來確定基于設計的結構元件的類別；以及產生可用于確定配準的圖像對的有效性的層分數。還提供了產生可用于檢查半導體樣本的檢查配方的系統和方法。

本發明授權半導體樣本的檢查在權利要求書中公布了：1.一種使用檢查配方來檢查半導體樣本的計算機化系統，所述系統包括處理器和存儲器電路系統PMC，所述處理器和存儲器電路系統PMC被配置為： 獲得配準的圖像對，所述配準的圖像對包括第一圖像和第二圖像，所述第一圖像由檢查工具所捕獲且代表所述半導體樣本的至少部分，所述第二圖像基于表征所述樣本的所述至少部分的設計數據來產生，所述第二圖像包括與所述設計數據中的設計層對應的一個或多個層，所述第二圖像提供所述設計數據中所呈現的一個或多個基于設計的結構元件的信息，每個基于設計的結構元件與所述基于設計的結構元件所在的相應層相關聯； 針對與所述一個或多個層中的給定層相關聯的每個基于設計的結構元件： 計算邊緣屬性，所述邊緣屬性與所述基于設計的結構元件相關聯且指示在所述第二圖像中的基于設計的結構元件的邊緣的位置處的所述第一圖像中的基于圖像的結構元件的邊緣的估算存在；以及 使用被包括在所述檢查配方中的經訓練的分類器基于與所述基于設計的結構元件相關聯的所述邊緣屬性，來確定所述基于設計的結構元件的類別，所述類別指示在所述基于設計的結構元件的所述位置處的所述第一圖像與所述第二圖像之間的配準的有效性；以及 針對所述給定層基于與所述給定層相關聯的每個基于設計的結構元件的所述類別來產生層分數，所述分數可用于基于所述檢查配方中所預定的層閾值來確定所述配準的圖像對的有效性。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料以色列公司，其通訊地址為：以色列瑞哈佛特市；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。