江西兆馳半導體有限公司程龍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉江西兆馳半導體有限公司申請的專利一種LED外延片、外延生長方法及LED芯片獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114551661B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210164053.1,技術領域涉及:H10H20/01;該發明授權一種LED外延片、外延生長方法及LED芯片是由程龍;印從飛;劉春楊;胡加輝設計研發完成,并于2022-02-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種LED外延片、外延生長方法及LED芯片在說明書摘要公布了:本發明提供一種LED外延片、外延生長方法及LED芯片,外延生長方法包括在生長P型接觸層時,控制生長溫度從高溫逐漸降至低溫,同時,摻雜Mg,控制Mg通入濃度高于P型GaN層Mg濃度,并且隨著生長溫度的降低,所述Mg通入濃度逐漸升高,因為在較高溫度生長Mg摻GaN層可以得到較高晶體質量的Mg摻GaN層,同時,高溫時,Mg較易摻雜進入GaN層中,但在低溫時,摻雜Mg效率的下降很多,而通過在低溫提高通入Mg的濃度,可以改善Mg在低溫時摻雜濃度低的問題,又由于從高溫到低溫,降溫的過程Mg逐漸并入,有效減少了Mg摻GaN層的晶格失配,從而使得P型接觸層的接觸電阻降低的同時,保證了晶體質量。
本發明授權一種LED外延片、外延生長方法及LED芯片在權利要求書中公布了:1.一種LED外延片的外延生長方法,其特征在于,所述外延生長方法包括: 提供一生長所需的藍寶石襯底; 在所述藍寶石襯底上依次外延生長緩沖層、非故意摻雜GaN層、N型GaN層、多量子阱層、電子阻擋層、P型GaN層和P型接觸層; 將所述P型接觸層在N2中進行退火處理; 在生長P型接觸層時,控制生長溫度從高溫逐漸降至低溫,同時,摻雜Mg,控制Mg通入濃度高于P型GaN層Mg濃度,并且隨著生長溫度的降低,所述Mg通入濃度逐漸升高,所述P型接觸層生長溫度從900℃~1000℃降至700℃,同時,隨著所述P型接觸層生長溫度的降低,所述Mg通入濃度從1E19升高至5E20,所述P型接觸層生長壓力為100torr~600torr。
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