TES股份有限公司黃玄想獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉TES股份有限公司申請的專利基板處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114649185B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111562613.0，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權基板處理裝置是由黃玄想;孫洪儁設計研發完成，并于2021-12-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板處理裝置在說明書摘要公布了：本發明提供基板處理裝置，更具體地涉及一種能夠在使用等離子體的基板處理裝置抑制在傳輸高頻功率的同軸電纜發生的發熱現象的基板處理裝置。
本發明授權基板處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種基板處理裝置，其特征在于， 包括： 第一電極，設置在腔體內部； 第二電極，與所述第一電極相對，設置在所述腔體內部；及 高頻供應部，與所述第二電極連接， 所述高頻供應部包括： 射頻發生器，向所述第二電極供應高頻功率； 匹配器，在所述第二電極和所述射頻發生器之間連接而匹配所述高頻功率的阻抗； 同軸電纜，配置在所述匹配器和所述腔體之間而向所述第二電極傳送高頻功率； 阻抗轉換器，改變所述同軸電纜的阻抗，其中所述阻抗轉換器在所述同軸電纜和所述腔體之間連接，所述阻抗轉換器在從所述射頻發生器觀察時配置在所述同軸電纜的后端。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人TES股份有限公司，其通訊地址為：韓國京畿道龍仁市處仁區陽智面中部大路2374-36；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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