上海微電子裝備(集團)股份有限公司文靜獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海微電子裝備(集團)股份有限公司申請的專利晶片盒解鎖系統和光刻系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115732374B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111013390.2，技術領域涉及：H01L21/673；該發明授權晶片盒解鎖系統和光刻系統是由文靜;周美君;張闊峰;張德龍;朱正平;姜杰設計研發完成，并于2021-08-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本晶片盒解鎖系統和光刻系統在說明書摘要公布了：本發明提供一種晶片盒解鎖系統和光刻系統。所述晶片盒解鎖系統包括運動承載裝置、晶片盒和解鎖機構，所述運動承載裝置中，軸承座與移動平臺固定連接，軸承座上的卡槽中至少嵌設有一個軸承，軸承的內圈環繞并支撐絲桿，電機與絲桿連接以驅動絲桿沿長度方向運動，軸承和移動平臺在絲桿的帶動下運動，其中，每個軸承具有朝向解鎖機構一側且與卡槽內壁相對的第一端面，至少一個軸承的第一端面與相應的卡槽內壁之間設置有彈性件。如此，彈性件可以緩解絲桿受到的反作用力，避免絲桿變形或卡死，有助于提高晶片盒和解鎖機構對接的可靠性。光刻系統包括上述的晶片盒解鎖系統。
本發明授權晶片盒解鎖系統和光刻系統在權利要求書中公布了：1.一種晶片盒解鎖系統，其特征在于，包括運動承載裝置、晶片盒以及解鎖機構，所述運動承載裝置承載所述晶片盒朝所述解鎖機構運動直到所述晶片盒和所述解鎖機構對接，所述運動承載裝置包括： 移動平臺； 絲桿； 至少一個軸承和支撐所述軸承的軸承座，所述軸承座與所述移動平臺固定連接，所述軸承的內圈環繞并支撐所述絲桿；以及 電機，與所述絲桿連接，以驅動所述絲桿沿長度方向運動，而所述軸承和所述移動平臺在所述絲桿的帶動下運動； 其中，每個所述軸承均嵌設于所述軸承座上的卡槽中，且具有朝向所述解鎖機構一側且與所述卡槽內壁相對的第一端面，至少一個所述軸承的所述第一端面與相應的所述卡槽內壁之間設置有彈性件。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海微電子裝備(集團)股份有限公司，其通訊地址為：201203 上海市浦東新區張東路1525號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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