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龍圖騰網(wǎng)獲悉常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司申請(qǐng)的專利鍍膜設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113718234B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110984829.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/50；該發(fā)明授權(quán)鍍膜設(shè)備是由左國軍;梁建軍;楊虎設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-08-24向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本鍍膜設(shè)備在說明書摘要公布了：本發(fā)明的實(shí)施例提供了一種鍍膜設(shè)備，包括：等離子體組件，包括：第一電極組件；第二電極組件，與第一電極組件的間隙形成沉積空間，物料位于沉積空間；熱絲組件，用于利用溫度場(chǎng)使反應(yīng)物分解。本發(fā)明的技術(shù)方案中，同時(shí)采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積和熱絲化學(xué)氣相沉積工藝對(duì)硅片進(jìn)行鍍膜，熱絲組件能夠減弱離子轟擊的副作用，降低由于離子轟擊導(dǎo)致膜層產(chǎn)生缺陷的可能性，且熱絲組件的無離子轟擊作用有利于提高沉積薄膜的質(zhì)量，結(jié)合第一電極組件和第二電極組件的等離子體增強(qiáng)的作用，薄膜的沉積面積均勻性好，降低了熱絲本身鍍膜的可能性，有利于實(shí)現(xiàn)太陽能電池的規(guī)模化生產(chǎn)，達(dá)到高速沉積微晶硅和納米硅的目的，提高產(chǎn)品質(zhì)量。

本發(fā)明授權(quán)鍍膜設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種鍍膜設(shè)備，其特征在于，包括： 第一電極組件111； 第二電極組件112，與所述第一電極組件111極性相反，所述第二電極組件112與所述第一電極組件111的間隙形成沉積空間113； 熱絲組件120，設(shè)于所述第一電極組件111與所述第二電極組件112之間，或所述熱絲組件120繞設(shè)于所述第一電極組件111以及所述第二電極組件112的外周，所述熱絲組件120用于利用溫度場(chǎng)使反應(yīng)物分解， 其中，物料200位于所述沉積空間113內(nèi)，所述物料200與所述第一電極組件111平行，且所述物料200與所述第二電極組件112平行； 在所述鍍膜設(shè)備為板式結(jié)構(gòu)的情況下，所述熱絲組件120包括： 安裝框架121，設(shè)于所述沉積空間113； 加熱絲122，穿設(shè)于所述安裝框架121； 承接柱141，所述承接柱141的一端與所述第一電極組件111連接，所述承接柱141的另一端與所述第二電極組件112連接，所述承接柱141上設(shè)有限位凸起142，所述安裝框架121與所述限位凸起142連接； 在所述鍍膜設(shè)備為筒式結(jié)構(gòu)的情況下，所述鍍膜設(shè)備還包括： 筒體130，所述第一電極組件111與所述第二電極組件112均設(shè)于所述筒體130內(nèi)部，所述物料200能夠沿所述筒體130的長度方向運(yùn)動(dòng)； 所述加熱絲122的數(shù)量為多個(gè)，多個(gè)所述加熱絲122平行設(shè)置；和或 多個(gè)所述加熱絲122首尾相連； 所述第一電極組件111包括： 第一連接部1111，設(shè)于所述筒體130的內(nèi)部； 多個(gè)第一電極板1112，設(shè)于所述第一連接部1111，相鄰兩個(gè)所述第一電極板1112之間的間距相同； 所述第二電極組件112包括： 第二連接部1121，設(shè)于所述筒體130的內(nèi)部，所述第二連接部1121與所述第一連接部1111平行設(shè)置； 多個(gè)第二電極板1122，設(shè)于所述第二連接部1121，相鄰兩個(gè)所述第二電極板1122之間的間距相同； 所述第二電極板1122與所述第一電極板1112交錯(cuò)設(shè)置，所述第二電極板1122與所述第一電極板1112相互平行，所述第二電極板1122與所述第一電極板1112之間的間隙形成所述沉積空間113； 所述承接柱的數(shù)量為四個(gè)，四個(gè)所述承接柱分別位于所述電極組件的四角位置。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司，其通訊地址為：213133 江蘇省常州市新北區(qū)機(jī)電工業(yè)園寶塔山路9號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。