東京毅力科創株式會社高橋信博獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利基板處理方法和基板處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115244661B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180020371.4，技術領域涉及：H01L21/3065；該發明授權基板處理方法和基板處理裝置是由高橋信博;清水昭貴;淺田泰生設計研發完成，并于2021-03-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板處理方法和基板處理裝置在說明書摘要公布了：一種基板的處理方法，是交替地層疊有硅層與硅鍺層的基板的處理方法，所述基板的處理方法包括以下工序：使用被利用遠程等離子體自由基化后的、包含氟和氧的氣體，選擇性地將所述硅鍺層的露出面的表層氧化來形成氧化膜；以及去除所形成的所述氧化膜。
本發明授權基板處理方法和基板處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種基板處理方法，是交替地層疊有硅層與硅鍺層的基板的處理方法，所述基板處理方法包括以下工序： 向所述基板供給被利用遠程等離子體自由基化后的、包含氟和氧的氣體，利用所述硅層與所述硅鍺層的氧化速度之差來選擇性地將所述硅鍺層的露出面的表層氧化來形成氧化膜；以及 去除所形成的所述氧化膜， 用于形成所述氧化膜的氣體包含O2氣體和含氟氣體，含氟氣體相對于O2氣體的體積比率為0.1vol％以上且1.0vol％以下。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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