浜松光子學(xué)株式會社山本晃永獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉浜松光子學(xué)株式會社申請的專利背面入射型固體攝像裝置的制造方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN114930539B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202180008815.2,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H04N5/00;該發(fā)明授權(quán)背面入射型固體攝像裝置的制造方法是由山本晃永;粕谷立城;谷崎和宏;鈴木義之設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2021-01-19向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本背面入射型固體攝像裝置的制造方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明的背面入射型固體攝像裝置的制造方法具備:第1工序,準(zhǔn)備具有表面和背面的第1導(dǎo)電型的半導(dǎo)體層;第2工序,通過選擇性地蝕刻半導(dǎo)體層的表面,在半導(dǎo)體層的表面形成第1凹凸區(qū)域;第3工序,通過使第1凹凸區(qū)域的凹凸平滑,在半導(dǎo)體層的表面形成第2凹凸區(qū)域;和第4工序,沿第2凹凸區(qū)域形成絕緣層,在絕緣層上形成多個(gè)電荷傳輸電極。
本發(fā)明授權(quán)背面入射型固體攝像裝置的制造方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種背面入射型固體攝像裝置的制造方法,其中, 具備: 第1工序,準(zhǔn)備具有表面和背面的第1導(dǎo)電型的半導(dǎo)體層; 第2工序,通過選擇性地蝕刻所述半導(dǎo)體層的所述表面,在所述半導(dǎo)體層的所述表面形成第1凹凸區(qū)域; 第3工序,通過使所述第1凹凸區(qū)域的凹凸平滑,在所述半導(dǎo)體層的所述表面形成第2凹凸區(qū)域;和 第4工序,沿所述第2凹凸區(qū)域形成絕緣層,在所述絕緣層上形成多個(gè)電荷傳輸電極。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人浜松光子學(xué)株式會社,其通訊地址為:日本靜岡縣;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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