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龍圖騰網(wǎng)獲悉ASML荷蘭有限公司申請(qǐng)的專利用于聚焦帶電粒子束的系統(tǒng)和方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113614872B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：201980086941.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/147；該發(fā)明授權(quán)用于聚焦帶電粒子束的系統(tǒng)和方法是由羅映;董仲華;殷學(xué)會(huì);狄隆;鄧年沛;方偉;浦凌凌;費(fèi)若沖;朱博航;劉瑜設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2019-12-19向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本用于聚焦帶電粒子束的系統(tǒng)和方法在說明書摘要公布了：公開了一種帶電粒子束系統(tǒng)300。帶電粒子束系統(tǒng)包括平臺(tái)201，該平臺(tái)被配置為保持樣本203并且能夠在X?Y?Z軸中的至少一個(gè)軸上移動(dòng)。帶電粒子束系統(tǒng)還包括用于確定平臺(tái)的橫向位移和豎直位移的定位感測(cè)系統(tǒng)350,340以及束偏轉(zhuǎn)控制器367，該束偏轉(zhuǎn)控制器367被配置為：施加第一信號(hào)，以將入射在樣本上的初級(jí)帶電粒子束330偏轉(zhuǎn)來至少部分地補(bǔ)償橫向位移；以及施加第二信號(hào)，以調(diào)整入射在樣本上的經(jīng)偏轉(zhuǎn)的帶電粒子束的焦點(diǎn)來至少部分地補(bǔ)償平臺(tái)的豎直位移。第一信號(hào)和第二信號(hào)可以包括分別具有在10kHz至50kHz以及50kHz至200kHz的范圍中的高帶寬的電信號(hào)。另外，公開了一種非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，包括用于使裝置300執(zhí)行方法的指令的集合，裝置包括帶電粒子源310以生成初級(jí)帶電粒子束314,330，該方法包括：確定平臺(tái)201的橫向位移，其中平臺(tái)能夠在X?Y軸中的至少一個(gè)軸上移動(dòng)；以及指示控制器367施加第一信號(hào)，以使入射在樣本203上的初級(jí)帶電粒子束偏轉(zhuǎn)來至少部分地補(bǔ)償橫向位移。

本發(fā)明授權(quán)用于聚焦帶電粒子束的系統(tǒng)和方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種帶電粒子束系統(tǒng)，包括： 平臺(tái)，被配置為保持樣本并且能夠在X-Y和Z軸上移動(dòng)； 定位感測(cè)系統(tǒng)，被配置為確定所述平臺(tái)的橫向位移和豎直位移；以及 控制器，被配置為： 施加第一信號(hào)，以使入射在所述樣本上的初級(jí)帶電粒子束偏轉(zhuǎn)來至少部分地補(bǔ)償所述平臺(tái)的所述橫向位移；以及 施加第二信號(hào)，以調(diào)整入射在所述樣本上的經(jīng)偏轉(zhuǎn)的帶電粒子束的聚焦來至少部分地補(bǔ)償所述平臺(tái)的所述豎直位移，其中所述豎直位移對(duì)應(yīng)于所述平臺(tái)在所述Z軸上的目標(biāo)定位和所述平臺(tái)的當(dāng)前定位之間的差。

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