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龍圖騰網(wǎng)獲悉浙江理工大學(xué);浙江大學(xué);南通市計量檢定測試所申請的專利一種基于自動跟蹤提高白光干涉采樣速率的裝置和方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114993200B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210553499.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B11/24；該發(fā)明授權(quán)一種基于自動跟蹤提高白光干涉采樣速率的裝置和方法是由祖洪飛;陳駿;陳章位;丁斌;何飛飛設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-05-20向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種基于自動跟蹤提高白光干涉采樣速率的裝置和方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種基于自動跟蹤提高白光干涉采樣速率的裝置和方法，裝置由寬帶光源，參考臂，測量臂，光纖耦合器，運動控制單元和信號接收與處理模塊組成；本發(fā)明方法首先利用線性位移臺找到等光程點后停止運動，之后壓電掃描臺開始工作，對待測樣品的表面不斷測量，通過設(shè)定一個自動跟蹤的閾值，當超過閾值后，線性位移臺移動到新的中心條紋位置，使得中心條紋位置重新在壓電掃描臺的中間零位附近，最終完成自動跟蹤。本發(fā)明方法不會因為待測表面的起伏，使得壓電掃描臺無法找到等光程點；本發(fā)明可以在未設(shè)置測量路徑和未知被測表面信息情況下，實現(xiàn)對未知表面自動跟蹤測量，并利用壓電掃描臺的高頻掃描特點，提高了采樣速率及測量速度。

本發(fā)明授權(quán)一種基于自動跟蹤提高白光干涉采樣速率的裝置和方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基于自動跟蹤提高白光干涉采樣速率的裝置，其特征在于，包括：寬帶光源、參考臂、測量臂、光纖耦合器、運動控制單元和信號接收與處理模塊； 所述參考臂包括線性位移臺、壓電掃描臺、平面反射鏡和準直鏡；其中，線性位移臺通過轉(zhuǎn)接板與壓電掃描臺連接，平面反射鏡安裝于壓電掃描臺上； 所述測量臂包括xz兩軸位移臺、轉(zhuǎn)接桿、測量探頭、待測樣品；所述xz兩軸位移臺中的z軸一側(cè)設(shè)有z軸載物臺，并通過轉(zhuǎn)接桿連接測量探頭，進行豎直方向運動；所述xz兩軸位移臺中的x軸一側(cè)設(shè)有x軸載物臺，x軸載物臺上放置有待測樣品，進行水平方向運動； 所述信號接收與處理模塊包括上位機、數(shù)據(jù)采集分析儀和光電探測器； 所述光纖耦合器的一側(cè)分別與參考臂、測量臂連接；所述光纖耦合器的另一側(cè)分別與寬帶光源、信號接收與處理模塊連接；所述測量臂、參考臂分別輸出測量光與參考光；所述信號接收與處理模塊用于接收測量臂、參考臂輸出的測量光與參考光的模擬信號，并處理生成測量臂、參考臂對應(yīng)的數(shù)字信號；所述運動控制單元接收該數(shù)字信號，并輸出模擬信號分別控制測量臂的x軸載物臺和z軸載物臺、參考臂的線性位移臺和壓電掃描臺對待測樣品進行測量； 光纖耦合器輸出的參考光經(jīng)準直鏡準直后照射在平面反射鏡上，經(jīng)平面反射鏡反射后，以原光路返回光纖耦合器，壓電掃描臺帶動平面反射鏡做往復(fù)運動，以改變參考臂的光程；光纖耦合器通過光纖連接測量探頭并輸出測量光至待測樣品后發(fā)生反射，反射光沿原路返回，與參考臂處的反射光在光纖耦合器中發(fā)生干涉，通過干涉圖樣中心條紋對應(yīng)等光程點來實現(xiàn)測量； 首先利用線性位移臺找到等光程點后停止運動，之后壓電掃描臺開始工作，對待測樣品的表面不斷測量，由于待測表面起伏會導(dǎo)致等光程點不斷改變，而壓電掃描臺的掃描范圍往往不到1mm，因此被測表面起伏較大時會使等光程點很容易就超過了掃描范圍，此時則通過設(shè)定一個自動跟蹤的閾值，當超過閾值后，線性位移臺移動到新的中心條紋位置，使得中心條紋位置重新在壓電掃描臺的中間零位附近，最終完成自動跟蹤。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人浙江理工大學(xué);浙江大學(xué);南通市計量檢定測試所，其通訊地址為：310018 浙江省杭州市江干經(jīng)濟開發(fā)區(qū)2號大街928號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。