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龍圖騰網獲悉株式會社斯庫林集團申請的專利旋轉保持裝置及具備該旋轉保持裝置的襯底處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114141681B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111032159.8，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權旋轉保持裝置及具備該旋轉保持裝置的襯底處理裝置是由徐飛;熊田雄介;甲盛諄設計研發完成，并于2021-09-03向國家知識產權局提交的專利申請。

本旋轉保持裝置及具備該旋轉保持裝置的襯底處理裝置在說明書摘要公布了：本發明涉及一種旋轉保持裝置及具備該旋轉保持裝置的襯底處理裝置。旋轉保持裝置具備：吸附保持部，具有吸附保持襯底的下表面中央部的上表面；及旋轉驅動部，使吸附保持部繞鉛垂軸旋轉。上表面具有周緣部區域、及被周緣部區域包圍的中央部區域。在周緣部區域設置有多個第1抽吸孔，且在中央部區域設置有多個第2抽吸孔。周緣部區域中的多個第1抽吸孔的面密度比中央部區域中的多個第2抽吸孔的面密度大。多個第1抽吸孔的面密度及多個第2抽吸孔的面密度也可以不滿足所述關系。在該情況下，在旋轉保持裝置中設置對未由吸附保持部吸附保持的襯底的下表面周緣部的至少一部分的溫度進行調整的溫度調整部。

本發明授權旋轉保持裝置及具備該旋轉保持裝置的襯底處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種旋轉保持裝置，一邊吸附保持襯底的下表面中央部一邊使它旋轉，且具備： 吸附保持部，具有吸附保持所述襯底的所述下表面中央部的上表面；及 旋轉驅動部，使所述吸附保持部繞沿上下方向延伸的旋轉軸旋轉； 所述上表面具有： 周緣部區域，沿著外緣；及 中央部區域，被所述周緣部區域包圍； 在所述周緣部區域設置有多個第1抽吸孔， 在所述中央部區域設置有多個第2抽吸孔，且 所述周緣部區域中的所述多個第1抽吸孔的面密度大于所述中央部區域中的所述多個第2抽吸孔的面密度； 所述吸附保持部包含： 多個直線狀路徑，形成為在俯視下與所述中央部區域重疊且從所述旋轉軸朝向所述吸附保持部的外緣呈直線狀延伸，將所述多個第2抽吸孔處所抽吸的所述上表面上的氣體引導至所述吸附保持部的外部；及 環狀路徑，形成為在俯視下與所述周緣部區域重疊且包圍所述多個直線狀路徑，將所述多個第1抽吸孔處所抽吸的所述上表面上的氣體引導至所述吸附保持部的外部； 所述多個直線狀路徑的內部空間與所述環狀路徑相互連通。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社斯庫林集團，其通訊地址為：日本京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。