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龍圖騰網(wǎng)獲悉佳能株式會社申請的專利掃描曝光裝置、掃描曝光方法以及物品制造方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113985702B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202110847346.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)掃描曝光裝置、掃描曝光方法以及物品制造方法是由上野卓郎;板橋宏明設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-07-27向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本掃描曝光裝置、掃描曝光方法以及物品制造方法在說明書摘要公布了：本公開涉及掃描曝光裝置、掃描曝光方法以及物品制造方法。掃描曝光裝置針對由照明光學(xué)系統(tǒng)照明的照明區(qū)域掃描原版，并且一邊與原版的掃描同步地掃描基板，一邊對基板進行掃描曝光。掃描曝光裝置具備：第1調(diào)整機構(gòu)，在進行基板的第1區(qū)域的掃描曝光以及與第1區(qū)域部分地重復(fù)的第2區(qū)域的掃描曝光的模式下調(diào)整被照射到第1區(qū)域與第2區(qū)域的重復(fù)區(qū)域的曝光光的照度分布；第2調(diào)整機構(gòu)，調(diào)整照明區(qū)域的形狀；以及控制部，在執(zhí)行以在重復(fù)區(qū)域的整個區(qū)域使曝光量超過目標曝光量的方式使第1調(diào)整機構(gòu)動作的第1調(diào)整動作之后，執(zhí)行以在重復(fù)區(qū)域使曝光量收斂于目標曝光量的容許范圍的方式使第2調(diào)整機構(gòu)動作的第2調(diào)整動作。

本發(fā)明授權(quán)掃描曝光裝置、掃描曝光方法以及物品制造方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種掃描曝光裝置，針對由照明光學(xué)系統(tǒng)照明的照明區(qū)域而掃描原版，并且一邊與所述原版的掃描同步地對基板進行掃描，一邊對所述基板進行掃描曝光，所述掃描曝光裝置的特征在于，具備： 第1調(diào)整機構(gòu)，配置在將所述原版的圖案投影到所述基板的投影光學(xué)系統(tǒng)與所述基板之間，在進行所述基板的第1區(qū)域的掃描曝光以及與所述第1區(qū)域部分地重復(fù)的第2區(qū)域的掃描曝光的模式下，調(diào)整被照射到所述第1區(qū)域與所述第2區(qū)域的重復(fù)區(qū)域的曝光光的照度分布； 第2調(diào)整機構(gòu)，配置在所述照明光學(xué)系統(tǒng)與所述原版之間，調(diào)整所述照明區(qū)域的形狀；以及 控制部，在執(zhí)行以在所述重復(fù)區(qū)域的整個區(qū)域使曝光量超過目標曝光量的方式使所述第1調(diào)整機構(gòu)進行動作的第1調(diào)整動作之后，執(zhí)行以在所述重復(fù)區(qū)域使曝光量收斂于所述目標曝光量的容許范圍的方式使所述第2調(diào)整機構(gòu)進行動作的第2調(diào)整動作。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人佳能株式會社，其通訊地址為：日本東京；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。