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      奧羅拉太陽能技術(加拿大)股份有限公司H·戈達米獲國家專利權

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      龍圖騰網獲悉奧羅拉太陽能技術(加拿大)股份有限公司申請的專利表征半導體材料的系統和方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115176144B 。

      龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202080095503.5,技術領域涉及:G01N21/25;該發明授權表征半導體材料的系統和方法是由H·戈達米;J·K·C·黃;G·德恩斯設計研發完成,并于2020-12-04向國家知識產權局提交的專利申請。

      表征半導體材料的系統和方法在說明書摘要公布了:用于半導體裝置的非接觸表征的系統和方法。系統可以包含:紅外輻射源,所述紅外輻射源將輻射朝向所述半導體裝置引導;輻射引導裝置,所述輻射引導裝置定位在所述紅外輻射源近側,所述輻射引導裝置用于將輻射朝向所述半導體裝置的相對側引導,所述半導體裝置可收納在所述輻射引導裝置與所述紅外輻射源之間;以及輻射檢測器,所述輻射檢測器位于所述紅外輻射源近側,所述輻射檢測器用于感測來自所述半導體裝置的與多個紅外波段相關聯的輻射,以確定所述半導體裝置的摻雜劑分布性質。所感測輻射可以包含來源于所述紅外輻射源的從所述半導體裝置反射的輻射。所述所感測輻射可以包含來源于所述輻射引導裝置并從所述半導體裝置出射的輻射。所述摻雜劑分布性質可以基于與所述多個相應紅外波段相關聯的紅外反射率或紅外透射率。

      本發明授權表征半導體材料的系統和方法在權利要求書中公布了:1.一種用于被測半導體裝置的非接觸表征的系統,所述系統包括: 紅外輻射源,所述紅外輻射源將輻射朝向所述半導體裝置引導; 輻射引導裝置,所述輻射引導裝置定位在所述紅外輻射源近側并且被配置成將輻射朝向所述半導體裝置的相對側引導,所述半導體裝置能收納在所述輻射引導裝置與所述紅外輻射源之間;以及 輻射檢測器,所述輻射檢測器位于所述紅外輻射源近側并且被配置成感測來自所述半導體裝置的與多個紅外波段相關聯的輻射,以確定所述半導體裝置的摻雜劑分布性質,所感測輻射包含來源于所述紅外輻射源的從所述半導體裝置反射的輻射,所述所感測輻射包含來源于所述輻射引導裝置并從所述半導體裝置出射的輻射, 其中,所述摻雜劑分布性質基于與相應的所述多個紅外波段相關聯的紅外反射率或紅外透射率中的至少一個。

      如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人奧羅拉太陽能技術(加拿大)股份有限公司,其通訊地址為:加拿大不列顛哥倫比亞?。换蛘呗撓谍垐D騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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