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龍圖騰網(wǎng)獲悉香港科技大學(xué)(廣州)申請(qǐng)的專利一種解碼設(shè)備底座與解碼設(shè)備獲國(guó)家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN223296777U 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-02發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202521561267.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該實(shí)用新型一種解碼設(shè)備底座與解碼設(shè)備是由吳朝陽(yáng);李季;陳雪娥;熊威;徐巍設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-07-25向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種解碼設(shè)備底座與解碼設(shè)備在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體公開(kāi)了一種解碼設(shè)備底座與解碼設(shè)備；其中，解碼設(shè)備底座包括：物料臺(tái)；所述物料臺(tái)上設(shè)置有多個(gè)不同直徑的第一樣品槽；所述物料臺(tái)上設(shè)置有解碼區(qū)域；所述解碼區(qū)域與各個(gè)所述第一樣品槽均部分或全部重合。本方案中，晶圓能夠根據(jù)尺寸放置于不同的第一樣品槽內(nèi)。由于編碼一般位于晶圓的邊緣位置，并且各個(gè)第一樣品槽均與解碼區(qū)域相交，因此在放置晶圓時(shí)只需相應(yīng)地將編碼放置在解碼區(qū)域內(nèi)即可實(shí)現(xiàn)將編碼與鏡頭組對(duì)應(yīng)。本方案提供的解碼設(shè)備底座能夠供不同尺寸的晶圓放置，并且通過(guò)第一樣品槽為工作人員提供了放置區(qū)域的限制，從而能夠減少對(duì)設(shè)備數(shù)量和鏡頭組數(shù)量的要求，降低設(shè)備成本以及提升工作效率。

本實(shí)用新型一種解碼設(shè)備底座與解碼設(shè)備在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種解碼設(shè)備底座，其特征在于，包括：物料臺(tái)（10）； 所述物料臺(tái)（10）上設(shè)置有多個(gè)不同直徑的第一樣品槽（11）； 所述物料臺(tái)（10）上設(shè)置有解碼區(qū)域（12）； 所述解碼區(qū)域（12）與各個(gè)所述第一樣品槽（11）均部分或全部重合。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人香港科技大學(xué)(廣州)，其通訊地址為：511453 廣東省廣州市南沙區(qū)篤學(xué)路1號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。