香港科技大學(廣州)徐巍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉香港科技大學(廣州)申請的專利一種超聲藥液槽及濕法清洗裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223288640U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202521538777.3，技術領域涉及：B08B3/12；該實用新型一種超聲藥液槽及濕法清洗裝置是由徐巍;李藝杰設計研發完成，并于2025-07-23向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種超聲藥液槽及濕法清洗裝置在說明書摘要公布了：本申請公開了一種超聲藥液槽及濕法清洗裝置，涉及半導體加工技術領域，其中超聲藥液槽包括槽體、超聲組件以及外殼結構；槽體設有至少兩個外壁面；至少一個外壁面上安裝有超聲組件；至少另一個外壁面上安裝有外殼結構；外殼結構與槽體之間形成熱交換腔室。將超聲組件直接安裝于槽體的外壁面，相比隔水超聲設計，減少了超聲傳遞路徑，從而提升了超聲作用的效果；而且槽體至少另一個外壁面上安裝的外殼結構與槽體之間形成熱交換腔室，熱交換腔室可實現加熱功能，與超聲組件配合，對槽體內的物質起到加熱與超聲雙作用，兩者協同工作，極大地提高了清洗效率。
本實用新型一種超聲藥液槽及濕法清洗裝置在權利要求書中公布了：1.一種超聲藥液槽，其特征在于，包括槽體（1）、超聲組件（3）以及外殼結構（2）； 所述槽體（1）設有至少兩個外壁面； 至少一個所述外壁面上安裝有所述超聲組件（3）； 至少另一個所述外壁面上安裝有所述外殼結構（2）； 所述外殼結構（2）與所述槽體（1）之間形成熱交換腔室（21）。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人香港科技大學(廣州)，其通訊地址為：511453 廣東省廣州市南沙區篤學路1號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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