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龍圖騰網(wǎng)獲悉蘇州智程半導(dǎo)體科技股份有限公司申請(qǐng)的專利一種半導(dǎo)體晶圓清洗裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120394457B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510914898.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B08B3/12；該發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體晶圓清洗裝置是由華斌;趙天翔;丁宏程設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-07-03向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種半導(dǎo)體晶圓清洗裝置在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明涉及晶圓片清洗技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種半導(dǎo)體晶圓清洗裝置，包括超聲波清洗機(jī)，還包括：安裝板，安裝板設(shè)置在超聲波清洗機(jī)的上方，多個(gè)弧形條，多個(gè)弧形條沿周向設(shè)置在安裝板的一側(cè)，弧形條上連接有聚攏組件，弧形條的凹面?zhèn)染O(shè)置有多個(gè)限位輥，噴氣組件，噴氣組件設(shè)置在弧形條的凹面?zhèn)龋瑖姎饨M件用于對(duì)限位輥和半導(dǎo)體晶圓的側(cè)邊接觸位置噴氣除塵；本發(fā)明通過(guò)噴氣組件對(duì)限位輥和半導(dǎo)體晶圓的側(cè)邊接觸位置進(jìn)行噴氣除塵，使得限位輥和半導(dǎo)體晶圓的側(cè)邊接觸位置之間不存在污染物，防止污染物的存在造成半導(dǎo)體晶圓的側(cè)邊處產(chǎn)生劃痕損傷。

本發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體晶圓清洗裝置在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種半導(dǎo)體晶圓清洗裝置，包括超聲波清洗機(jī)（100），其特征在于，還包括： 安裝板（200），安裝板（200）設(shè)置在超聲波清洗機(jī)（100）的上方，安裝板（200）上連接有升降組件（300），升降組件（300）用于驅(qū)動(dòng)安裝板（200）進(jìn)行垂直方向的升降移動(dòng)； 多個(gè)弧形條（400），多個(gè)弧形條（400）沿周向設(shè)置在安裝板（200）的一側(cè)，弧形條（400）上連接有聚攏組件（500），弧形條（400）的凹面?zhèn)染O(shè)置有多個(gè)限位輥（600），限位輥（600）上連接有旋轉(zhuǎn)組件（700），當(dāng)聚攏組件（500）驅(qū)動(dòng)弧形條（400）向安裝板（200）的中心處聚攏后，限位輥（600）與半導(dǎo)體晶圓的側(cè)邊接觸限位，旋轉(zhuǎn)組件（700）用于驅(qū)動(dòng)多個(gè)限位輥（600）同向轉(zhuǎn)動(dòng)； 噴氣組件（800），噴氣組件（800）設(shè)置在弧形條（400）的凹面?zhèn)?，噴氣組件（800）用于對(duì)限位輥（600）和半導(dǎo)體晶圓的側(cè)邊接觸位置噴氣除塵； 導(dǎo)液組件（900），導(dǎo)液組件（900）設(shè)置在安裝板（200）上，當(dāng)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行單向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，導(dǎo)液組件（900）用于對(duì)半導(dǎo)體晶圓側(cè)邊處進(jìn)行反向的清洗液引流； 旋轉(zhuǎn)組件（700）包括： 多個(gè)單通套管（710），多個(gè)單通套管（710）分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接在對(duì)應(yīng)的限位輥（600）內(nèi)部，單通套管（710）均固定連接在對(duì)應(yīng)的弧形條（400）上； 限位輥（600）的一側(cè)均設(shè)置有刮板（610），刮板（610）的頂部滑動(dòng)連接有連接條（611），連接條（611）固定連接在對(duì)應(yīng)的弧形條（400）上，刮板（610）的一側(cè)固定連接有圓形桿（612），安裝板（200）上固定連接有多個(gè)引導(dǎo)框架（613），引導(dǎo)框架（613）上開(kāi)設(shè)有引導(dǎo)槽（614），圓形桿（612）的一端位于對(duì)應(yīng)的引導(dǎo)槽（614）內(nèi)部，引導(dǎo)槽（614）包括垂直段（6141）和傾斜段（6142），當(dāng)圓形桿（612）位于垂直段（6141）內(nèi)部時(shí)，刮板（610）的刮料端位于限位輥（600）的一側(cè)； 導(dǎo)液組件（900）包括： 第二弧形管（910），第二弧形管（910）固定連接在安裝板（200）上，第二弧形管（910）上固定連通有多個(gè)出水管（911）； 液泵（920），液泵（920）固定安裝在安裝板（200）上，液泵（920）的出水端固定連通在第二弧形管（910）的一端上，當(dāng)多個(gè)弧形條（400）處于聚攏狀態(tài)時(shí)，出水管（911）的一端與對(duì)應(yīng)的單通套管（710）一端接觸連通，單通套管（710）上開(kāi)設(shè)有第一出水槽（711），限位輥（600）上沿周向開(kāi)設(shè)有多個(gè)第二出水槽（620）。

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