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龍圖騰網獲悉蘇州智程半導體科技股份有限公司申請的專利一種半導體晶圓化學清洗夾具獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120413510B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510914920.2，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權一種半導體晶圓化學清洗夾具是由華斌;陳焱;任廣相設計研發完成，并于2025-07-03向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種半導體晶圓化學清洗夾具在說明書摘要公布了：本發明涉及清洗夾具技術領域，公開了一種半導體晶圓化學清洗夾具，包括第一板，用于放置承載晶圓，第二板，其設置于第一板上，通過第二板便于使用人員移動第一板和晶圓，限位組件，其設置于第一板上，用于限制第一板上晶圓的位置，限位組件的內部設置有調節單元。本發明通過限位組件能夠對直徑大小不同的晶圓進行位置限定，然后通過夾持組件中的導輪抵住晶圓的外表面，使晶圓被頂在導輪、第一圓柱和兩個第二圓柱之間，通過本裝置可以將被限位的晶圓夾持固定，確保了晶圓在清洗時不會因晃動而滑落摔壞。

本發明授權一種半導體晶圓化學清洗夾具在權利要求書中公布了：1.一種半導體晶圓化學清洗夾具，其特征在于，包括： 第一板（1），用于放置承載晶圓（3）； 第二板（2），其設置于第一板（1）上，通過第二板（2）便于使用人員移動第一板（1）和晶圓（3）； 限位組件，其設置于第一板（1）上，用于限制第一板（1）上晶圓（3）的位置，限位組件的內部設置有調節單元，調節單元被設置為當晶圓（3）的直徑大小不同時，能夠調節限位組件中至少一個部件的位置，使限位組件能夠對直徑大小不同的晶圓（3）進行位置限定，所述限位組件包括： 兩塊第三板（4），兩塊第三板（4）對稱設置于第一板（1）的上表面并相互垂直設置，兩塊第三板（4）與第一板（1）的上表面之間均設置有第一腔（401），晶圓（3）設置于第一腔（401）的內部，通過第一腔（401）限制晶圓（3）的軸向移動； 第一圓柱（7），其設置于第一板（1）上，用于限制晶圓（3）其中一個直徑方向的移動； 兩個第二圓柱（9），其對稱設置于第一板（1）上且分別位于兩個第一腔（401）內，用于限制晶圓（3）另兩個直徑方向的移動，第一圓柱（7）設置于兩個第二圓柱（9）之間，第一圓柱（7）和兩個第二圓柱（9）形成三角形結構，晶圓（3）設置于第一圓柱（7）和兩個第二圓柱（9）之間，能夠對晶圓（3）的直徑方向進行位置限定； 夾持組件，其設置于第二板（2）上，與限位組件配合使用，當限位組件將晶圓（3）的位置限定后通過夾持組件對晶圓（3）進行夾持固定，夾持組件的內部設置有自適應單元，自適應單元被設置為當晶圓（3）的直徑大小不同時，能夠調節夾持組件的夾持力，使得晶圓（3）不會被過度夾持而損壞，所述夾持組件包括： 滑套（11），其設置于第二板（2）上，用于帶動夾持組件內至少一個部件沿著第二板（2）的軸向移動，滑套（11）的外表面螺紋連接有鎖緊螺栓（12），能夠對第二板（2）上滑套（11）的位置進行鎖緊固定，第二板（2）上的外表面開設有多個刻度標（202），用于精確定位滑套（11）在第二板（2）的軸向移動位置，滑套（11）的內部設置有空腔，滑套（11）的外表面對稱貫穿開設有第四通槽（1101）； 導輪（14），其設置于滑套（11）的空腔內部，導輪（14）被設置為當滑套（11）沿著第二板（2）的軸向向著晶圓（3）移動時，能帶動導輪（14）與晶圓（3）的圓周外表面相抵，使晶圓（3）被夾持在導輪（14）、第一圓柱（7）和兩個第二圓柱（9）之間，第四通槽（1101）的內壁之間滑動安裝有連接板（16），連接板（16）的兩端均貫穿第四通槽（1101）固定安裝有支板（15），導輪（14）轉動安裝于兩個支板（15）之間； 所述自適應單元包括： 支架（17），其設置于滑套（11）的空腔內部，用于承載安裝至少一個自適應單元部件，支架（17）的內部開設有凹槽（1703）； 第一塊（19），其設置于凹槽（1703）的內部，第一塊（19）的一端固定連接有第二彈簧（18），第二彈簧（18）的另一端與連接板（16）的外表面固定連接，第一塊（19）被設置為當其沿著凹槽（1703）的軸向進行移動時，能夠調整第二彈簧（18）在第一塊（19）和連接板（16）之間的預壓縮力，第一塊（19）的另一端對稱開設有兩個第一斜角（1902）； 兩個第二塊（20），其設置于支架（17）上，兩個第二塊（20）相鄰的一端均開設有第二斜角（2001），第二斜角（2001）與第一斜角（1902）相抵，兩個第二塊（20）被設置為當其受到外力擠壓時，第二塊（20）通過第二斜角（2001）與第一斜角（1902）的配合，帶動第一塊（19）沿著凹槽（1703）的軸向向著導輪（14）移動。

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