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龍圖騰網(wǎng)獲悉立锜科技股份有限公司申請(qǐng)的專利高壓元件及其制造方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114765222B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111507788.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H10D30/65；該發(fā)明授權(quán)高壓元件及其制造方法是由游焜煌;陳建馀;廖庭維;熊志文;張鈞隆;邱國(guó)卿;翁武得;邱建維;胡永中;楊大勇設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-12-10向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本高壓元件及其制造方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明提出一種高壓元件及其制造方法。高壓元件包括：半導(dǎo)體層、阱區(qū)、基底區(qū)、柵極、源極及漏極。基底區(qū)具有第二導(dǎo)電型，基底區(qū)形成于半導(dǎo)體層中并于通道方向上連接阱區(qū)。柵極形成于半導(dǎo)體層之上，部分基底區(qū)位于柵極正下方并連接于柵極，以提供高壓元件在導(dǎo)通操作中的反轉(zhuǎn)區(qū)。源極位于基底區(qū)中，漏極位于遠(yuǎn)離基底區(qū)的阱區(qū)中，部分阱區(qū)位于基底區(qū)與漏極之間以隔開(kāi)基底區(qū)及漏極。基底區(qū)的雜質(zhì)摻雜分布的第一濃度峰值區(qū)位于源極正下方且接觸源極。第一濃度峰值區(qū)的第二導(dǎo)電型雜質(zhì)濃度，高于基底區(qū)的其他區(qū)域。

本發(fā)明授權(quán)高壓元件及其制造方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種高壓元件，其特征在于，包含： 一半導(dǎo)體層，形成于一基板上； 一阱區(qū)，具有一第一導(dǎo)電型，其中該阱區(qū)形成于該半導(dǎo)體層中； 一基底區(qū)，具有一第二導(dǎo)電型，其中該基底區(qū)形成于該半導(dǎo)體層中并于一通道方向上連接該阱區(qū)； 一柵極，形成于該半導(dǎo)體層之上，其中部分該基底區(qū)位于該柵極正下方并連接于該柵極，以提供該高壓元件在一導(dǎo)通操作中的一反轉(zhuǎn)區(qū)； 一源極以及一漏極，具有該第一導(dǎo)電型，其中，該源極以及該漏極形成于該半導(dǎo)體層的一上表面下方且連接于該上表面，其中，該源極以及該漏極分別位于該柵極的兩側(cè)邊，該源極位于該基底區(qū)中，該漏極位于遠(yuǎn)離該基底區(qū)的該阱區(qū)中，其中，部分該阱區(qū)位于該基底區(qū)與該漏極之間以隔開(kāi)該基底區(qū)及該漏極；以及 一埋層，至少部分該埋層形成于該半導(dǎo)體層中，其中該埋層具有該第一導(dǎo)電型，該埋層位于該基底區(qū)及該阱區(qū)正下方； 其中，該基底區(qū)的一第一濃度峰值區(qū)位于該源極正下方且接觸該源極； 其中，該第一濃度峰值區(qū)的第二導(dǎo)電型雜質(zhì)濃度，高于該基底區(qū)的其他區(qū)域； 其中，該基底區(qū)的一第二濃度峰值區(qū)位于該半導(dǎo)體層的該上表面下且連接該上表面，其中該第二濃度峰值區(qū)環(huán)繞并連接該源極，且該第二濃度峰值區(qū)的該第二導(dǎo)電型雜質(zhì)濃度，高于該基底區(qū)中，除了該第一濃度峰值區(qū)的其他區(qū)域； 其中，該基底區(qū)還包括一第一層，其由一第一工藝步驟形成，其中該第一工藝步驟同時(shí)在該半導(dǎo)體層中的另一元件中形成另一第一層，且該第一層自該上表面向下延伸的深度，大于該源極； 其中，該基底區(qū)還包括一第二層，其由一第二工藝步驟形成，其中該第二工藝步驟同時(shí)在該半導(dǎo)體層中的另一元件中形成另一第二層，且該第二層自該上表面向下延伸的深度，大于該第一層。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人立锜科技股份有限公司，其通訊地址為：中國(guó)臺(tái)灣新竹縣竹北市；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。