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龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利基板處理系統及裝置、切換定時制作輔助裝置及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113327849B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110191901.3，技術領域涉及：H01L21/3065；該發明授權基板處理系統及裝置、切換定時制作輔助裝置及方法是由秋元健司設計研發完成，并于2021-02-19向國家知識產權局提交的專利申請。

本基板處理系統及裝置、切換定時制作輔助裝置及方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種基板處理系統及裝置、切換定時制作輔助裝置及方法，可提高處理的切換定時的精度。基板處理系統具備基板處理裝置和具備獲取部、選定部、決定部以及輸出部的切換定時制作輔助裝置。使基板處理裝置基于制程來執行對基板的處理，獲取部從在處理的執行期間針對基板處理裝置內的氣體中包含的包括原子和分子的粒子的每個性質測定氣體中包含的粒子的量的測定器獲取粒子的量的測定值。選定部在粒子的性質之中按照粒子的量的隨時間的變化量從大到小的順序選定預先確定的數量的粒子的性質。決定部基于選定出的粒子的每個性質的粒子的量的隨時間的變化，來決定用于判定切換定時的運算式和切換條件。輸出部向基板處理裝置輸出運算式和切換條件。

本發明授權基板處理系統及裝置、切換定時制作輔助裝置及方法在權利要求書中公布了：1.一種基板處理系統，具備： 基板處理裝置，其基于記述有多個處理的各處理的處理條件的制程來執行對基板的處理；以及 切換定時制作輔助裝置，其輔助制作針對所述基板進行的所述處理的切換定時， 其中，所述切換定時制作輔助裝置具有： 獲取部，所述基板處理裝置基于所述制程來執行對所述基板的處理，所述獲取部從在所述處理的執行期間針對所述基板處理裝置內的氣體中包含的包括原子和分子的粒子的每個性質測定所述氣體中包含的所述粒子的量的測定器獲取所述粒子的量的測定值； 選定部，其在所述粒子的性質之中按照所述粒子的量的隨時間的變化量從大到小的順序選定預先確定的數量的所述粒子的性質； 決定部，其基于選定出的所述粒子的每個性質的所述粒子的量的隨時間的變化，來決定用于判定所述切換定時的運算式和切換條件；以及 輸出部，其向所述基板處理裝置輸出所述運算式和所述切換條件， 并且，所述基板處理裝置具有： 執行部，其基于所述制程來執行對所述基板的處理； 計算部，其基于由所述測定器針對所述運算式中包括的所述粒子的每個性質測定出的所述粒子的量來計算所述運算式的值；以及 指示部，在所述運算式的值滿足所述切換條件的情況下，所述指示部向所述執行部指示處理條件的切換。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。