ASML荷蘭有限公司H·A·J·克瑞姆獲國家專利權(quán)

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龍圖騰網(wǎng)獲悉ASML荷蘭有限公司申請的專利確定采樣方案的方法、相關(guān)聯(lián)的設(shè)備以及計算機(jī)程序獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115315662B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202180023410.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)確定采樣方案的方法、相關(guān)聯(lián)的設(shè)備以及計算機(jī)程序是由H·A·J·克瑞姆;P·A·J·廷尼曼斯;J·A·L·J·瑞馬克;J·S·威爾登伯格設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-03-10向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本確定采樣方案的方法、相關(guān)聯(lián)的設(shè)備以及計算機(jī)程序在說明書摘要公布了：公開了一種確定采樣方案的方法。該方法包括獲得并行傳感器描述，基于所述并行傳感器描述和潛在量測位置來識別多個候選獲取配置。在評估度量方面評估每個所述候選獲取配置，并且基于所述評估來選擇候選獲取配置。將所選擇的獲取配置的相應(yīng)量測位置添加到采樣方案。

本發(fā)明授權(quán)確定采樣方案的方法、相關(guān)聯(lián)的設(shè)備以及計算機(jī)程序在權(quán)利要求書中公布了：1.一種確定采樣方案的方法，所述采樣方案描述襯底上的一組潛在的量測位置之中的量測位置的真子集；所述方法包括：獲得并行傳感器描述，其描述能夠執(zhí)行并行量測的多個量測傳感器的布置；基于所述并行傳感器描述和所述潛在量測位置來識別多個候選獲取配置，其中每個候選獲取配置描述所述傳感器描述相對于所述襯底的特定位置，并且因此描述所述潛在量測位置中的相應(yīng)的一個或多個量測位置；在評估度量方面評估所述候選獲取配置中的至少一些；基于所述評估來選擇候選獲取配置；并且將所述采樣方案限定為包括針對于每個所選擇的獲取配置的相應(yīng)量測位置的方案。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人ASML荷蘭有限公司，其通訊地址為：荷蘭維德霍溫；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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