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龍圖騰網(wǎng)獲悉日亞化學工業(yè)株式會社申請的專利半導(dǎo)體元件的制造方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN112635298B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202011013779.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/02；該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體元件的制造方法是由西影治彥;宮本佳典;細川泰伸設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-09-24向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本半導(dǎo)體元件的制造方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供半導(dǎo)體元件的制造方法，其能夠提高成品率。半導(dǎo)體元件的制造方法具備：準備晶圓10的工序，晶圓在上表面15包含第一區(qū)域11和第二區(qū)域12，第二區(qū)域設(shè)于第一區(qū)域的周圍并位于比第一區(qū)域低的位置；在晶圓的上表面形成由氮化物半導(dǎo)體構(gòu)成的半導(dǎo)體層20的工序。在俯視時，第一區(qū)域在第一方向上的端部具有延伸突出部11b，第一方向是通過晶圓的中心并且與半導(dǎo)體層的m軸平行的方向，延伸突出部向從晶圓的中心朝向晶圓的端緣側(cè)的方向延伸突出。延伸突出部具有平行于第三方向的第一側(cè)面12c，第三方向是相對于與晶圓的第一方向上的端緣的第一切線平行的第二方向以5°以上55°以下的角度傾斜的方向。

本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體元件的制造方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體元件的制造方法，其特征在于，具備： 準備晶圓的工序，該晶圓由藍寶石構(gòu)成，在上表面包含第一區(qū)域和第二區(qū)域，所述第二區(qū)域設(shè)于所述第一區(qū)域的周圍，并位于比所述第一區(qū)域低的位置； 使由氮化物半導(dǎo)體構(gòu)成的半導(dǎo)體層在所述晶圓的上表面外延生長的工序； 在俯視時，所述第一區(qū)域在第一方向上的端部具有延伸突出部，所述第一方向是通過所述晶圓的中心并且與所述半導(dǎo)體層的m軸平行的方向，所述延伸突出部向從所述晶圓的所述中心朝向所述晶圓的端緣側(cè)的方向延伸突出， 所述延伸突出部具有平行于第三方向的第一側(cè)面，所述第三方向是相對于與所述晶圓的所述第一方向上的端緣的切線平行的第二方向以5°以上55°以下的角度傾斜的方向。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人日亞化學工業(yè)株式會社，其通訊地址為：日本德島縣；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。