科美科技株式會社閔庚勛獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉科美科技株式會社申請的專利晶片棱角缺陷檢查裝置和檢查方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115088060B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202080096090.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/66；該發(fā)明授權(quán)晶片棱角缺陷檢查裝置和檢查方法是由閔庚勛設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-06-11向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本晶片棱角缺陷檢查裝置和檢查方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種能夠準(zhǔn)確地檢查晶片的棱角缺陷的晶片棱角缺陷檢查裝置和檢查方法，具體地，包括：板材形狀的晶片，固定晶片的夾持部以及檢測晶片棱角的缺陷的邊緣檢測部。
本發(fā)明授權(quán)晶片棱角缺陷檢查裝置和檢查方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶片棱角缺陷檢查裝置，該裝置包括： 板材形狀的晶片（100）； 晶片夾持部（200），其固定所述晶片（100）；以及 邊緣檢測部（300），其檢測所述晶片棱角（110）的缺陷， 所述晶片夾持部（200）包括：接觸體（210），其形成有多個，與所述晶片（100）的面和或棱角接觸； 支架緊固體（220），其通過驅(qū)動馬達(dá)（240）旋轉(zhuǎn)，并且同時旋轉(zhuǎn)多個所述接觸體（210）；以及 支架致動器（230），其在支架緊固體（220）上單獨選擇并旋轉(zhuǎn)所述接觸體（210）， 所述支架致動器（230）包括：支架操作凸輪（250），其與所述接觸體（210）接觸，通過所述邊緣檢測部（300）的干擾來操作。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人科美科技株式會社，其通訊地址為：韓國大田廣域市；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
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